UPGRADES

Wir steigern Produktivität und Produkthaltbarkeit

Lam Research bietet eine Vielzahl unterschiedlicher Produkterweiterungen und Produktivitäts-Upgrades an, mit denen Halbleiterhersteller die Rendite ihrer Anlageninvestitionen maximieren können. Mit den angebotenen Maßnahmen können Aktivität, Zuverlässigkeit und Effizienz gesteigert sowie die Gesamtkosten reduziert werden.

Upgrades werden für viele verschiedene Lam Research-Produkte angeboten, darunter für Plasmaätzung, Dünnschichtabscheidung, Fotolackentfernung und Waferreinigungssysteme. Folgende Arten von Upgrades sind verfügbar:

  • Technologie – Verlängerung der Nutzungsdauer der installierten Anlagen, indem diese so aufgerüstet werden, dass sich Produkte der nächsten Generation bearbeiten lassen
  • Produktivität – Vergrößerung des Ertrages verwendbarer Produkte, indem Betriebsbereitschaftszeiten und Durchsatz erhöht sowie die Betriebskosten reduziert werden
  • Verfügbarkeit – Erhöhung der Gesamtverfügbarkeit der Systeme, indem die Zuverlässigkeit verbessert und der Zeitraum zwischen präventiven Wartungen verlängert wird
  • Ausbeute – Vergrößerung des Ertrages verwendbarer Produkte, indem Störungen wie Fehlstellen, Ausbeuteeinbrüche und vollständig unbrauchbare Wafer reduziert werden
  • Green  – Unterstützung der Kunden bei Umweltschutzinitiativen und bei der Einhaltung von Vorschriften durch Maßnahmen zur Reduzierung des Energie und Gasverbrauchs und zur Verminderung der PFC-Produktion

Wenn Sie weitere Informationen benötigen, besuchen Sie MyLam® oder kontaktieren Sie Ihren regionalen Lam Research Repräsentanten.

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