LEGACY PRODUCTS

Increasing Production Capacity with Maximum Value

对于不需要最先进晶圆处理能力的应用,芯片制造商可以得益于经过验证的非前沿(传统)产品,从而以较小的经济投资提高生产能力。通过 Lam Research 这样的原始设备制造商 (OEM) 进行采购可以将生产中意料之外的成本和不可预见的时间的风险最小化,这些生产通常与已使用的系统采购相关。

通过提供翻新的和新造的传统产品,以及 NUsed 系统(包含一些翻新组件的新造产品),Lam 的 Reliant™ Systems Business 能够满足半导体生产商对高性能、最大化可预测性和低风险装置的需求。Lam 认证人员使用 OEM 认证组件,在预定时间按照原有参数制造和安装可用于生产环境的系统,以确保最高质量的产品和可靠的性能。这种对系统彻底翻新的方法与新产品有相同的测试规范。由本地专门支持团队负责 90 天内的配件保修和上门服务。包括软件许可证,保证系统性能。

Lam’s Solutions:

PROCESS APPLICATIONS OFFERINGS
Etch Dielectric, Silicon, Metal Refurbished, New Systems, NUsed
PECVD SiOx, SiN, Low-k, AHM, TEOS Refurbished, New Systems
HDP-CVD STI, ILD, IMD, Advanced Gapfill Refurbished, New Systems
Tungsten CVD Contact, Via Fill Refurbished, New Systems
Photoresist Strip FEOL, BEOL Refurbished
Wet Clean FEOL, BEOL, Packaging Refurbished, New Systems
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