UPGRADES

Boosting Productivity and Extending Product Lifetimes

Lam Research 提供广泛范围的产品扩展和生产力升级,以将半导体制造商对设备的投资回报率最大化。这些旨在增强生产力、可靠性和效率,并减少总成本。

Lam Research为一系列产品提供升级,包括等离子蚀刻、薄膜沉积、光刻胶剥离和晶圆清洗系统。升级涵盖以下类型:

  • 技术 – 延长现有机台的有效寿命,让已有设备能够处理下一代产品
  • 生产力 – 增加正常运行时间和产出,并降低操作成本,以增强优良产品的系统产出
  • 可用性– 提高可靠性并延长设备保养周期 (PM),以增加设备利用率
  • 产量 – 减少缺陷、偏差和晶圆报废率,以提升优良产品的产出
  • 绿色 – 节约能源和天然气的使用并减少 PFC 输出,以支持客户的绿色倡议和规范

要想了解更多信息,请访问 MyLam® 或联系您的本地 Lam Research 代表。

© COPYRIGHT 2017 LAM RESEARCH CORPORATION | ALL RIGHTS RESERVED