Unterstützung von Roadmaps für Spezialtechnologien und Verlängerung der produktiven Lebensdauer von Fabs
Die Reliant®-Produkte von Lam bieten Ätz-, Abscheidungs- und Reinigungslösungen für eine breite Palette von Anwendungen, z. B. für den Markt der Spezialtechnologien und für Knoten ≥ 14 nm für konventionelle CMOS.
Bei Spezialtechnologien unterstützen wir die Roadmaps unserer Kunden durch die Entwicklung neuer Lösungen, einschließlich kritischer Schritte. Spezialtechnologien sind ein wachsender Markt, der Bauelemente wie Stromversorgung, CMOS-Bildsensoren (CIS), Hochfrequenz (HF), Optoelektronik, analoge und gemischte Signale sowie mikroelektromechanische Systeme (MEMS) umfasst. Außerdem verlängern wir die produktive Lebensdauer einiger dieser Fabs, indem wir bei Bedarf 200-mm-Lösungen entwickeln und dabei auf die etablierte 300-mm-Technologie zurückgreifen.
Für Knoten ≥ 14 nm für konventionelle CMOS müssen entweder bestehende Kapazitäten erweitert oder neue Fabs gebaut werden. Wir sorgen für Kontinuität und Schnelligkeit, indem wir bewährte Lösungen liefern.
Reliant Systeme
Reliant-Abscheidungsprodukte
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Chemische Plasma-Gasphasenabscheidung mit hoher Dichte (HDP-CVD) Gepulste Laserabscheidung (PLD) Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) Reliant Systems
Unsere Reliant-Abscheidungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.
Reliant-Ätzprodukte
Reaktive Ionenätzung (RIE) Reliant Systems Tiefe reaktive Ionenätzung (DRIE)
Unsere Reliant-Ätzprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.
Reliant-Reinigungsprodukte
Nassreinigung/Strippen/Ätzen Reliant Systems
Unsere Reliant-Reinigungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.