PRODUCTS OVERVIEW

Enabling Chipmakers to Create the Future

当社の役割

携帯電話、コンピューター機器、エンターテインメント・ガジェットや各種車載機器など、日常利用している製品群の多くに高度マイクロチップが組み込まれています。電子製品は生活のあらゆる面に浸透しており、電子製品がない世界は想像もできません。

これらの機器で使用される微小で複雑なチップはコア・プロセスを繰り返して製造されているものであり、何百という製造ステップの積み重ねから生まれます。そのためには、半導体メーカの高度なプロセス及び製造装置が不可欠となります。

ラムリサーチは装置のリーディング・サプライヤとして、顧客と連携し、顧客の成功に必要な製品と技術を提供しています。重要なチップ加工機能を提供することにより当社製品は、ビジョンのある最新の電子機器設計とそれを製造する企業にとって不可欠の役割を果たしています。

当社のプロセス・ソリューション

チップ小型化への市場の留まることのない要求は、これらの精密で集積された先端デバイスの製造を可能にする新たな製造戦略の開発とこれへの移行を加速させています。現在の製品に適する高度マイクロプロセッサ・デバイスやメモリ・デバイスを製造することは非常に難易度が高く、原子レベルでの精密制御が求められます。

コラボレーションと多方面にわたる専門知識を基盤として、ラムリサーチは今後も引き続き小型化、複雑化するデバイスの製造に必要な新たな性能を開発してゆきます。トランジスタインターコネクトパターンニング先端メモリ、そして先端パッケージング・アプリケーションなど、最新のチップ製造に求められるウエハー加工性能を当社の革新的技術と高い生産性ソリューションが提供します。

当社製品

ラムリサーチは、デポジションエッチフォトレジスト除去(ストリップ)ウエハー洗浄(クリーン)向けに市場をリードする各種製品を提供しています。これらのステップは、半導体プロセスフローを通じて、相互補足的プロセス・ステップが何度も繰り返されます。

先進のウエハー・プロセス機能を必要としないアプリケーションの場合は実績のあるレガシー製品を提供します。当社は MEMS と LED の製造市場向けにコスト効率の高い生産ソリューションを提供しています。