UPGRADES

Boosting Productivity and Extending Product Lifetimes

ラムリサーチは、半導体メーカの装置投資リターンを最大化するように、さまざまな製品の拡張や生産性アップグレードに対応しています。これらは、生産性、信頼性、効率性を高め、全体コストを削減するように設計されています。

プラズマ・エッチ、薄膜蒸着、フォトレジスト剥離、ウエハー・クリーニング・システムなど、ラムリサーチ製品について下記のアップグレードを用意しております:

  • 技術 – 既存装置で次世代製品の製造を可能にするため、設置されている装置の耐用年数が伸びます
  • 生産性 – アップタイムとスループットを向上させ、運転コストを削減することにより良品の製造アウトプットを向上させます
  • 可稼働率 – 信頼性を高め、予防メンテナンス(PM)の間隔を伸ばし、システム全体の可稼働率を向上させます
  • 歩留まり – 欠陥、バラツキ、スクラップ・ウエハーを削減することにより、良品のアウトプットを増加させます
  • グリーン – エネルギーとガスの節約と PFS アウトプットの抑制により、カスタマの環境対応のグリーン・イニシアティブ/コンプライアンスを支援します

詳細は MyLam® をご覧になるかラムリサーチ担当者にお問い合わせ下さい