LEGACY PRODUCTS

Increasing Production Capacity with Maximum Value

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最新のウェーハ処理能力を必要としないアプリケーションの場合、半導体メーカは実績のある非先端(レガシー)装置を使用することで、少ない投資額で製造能力を高めることができます。ラムリサーチのような純正装置メーカーから購入すれば、3rd ベンダーからのシステム購入でありがちな予想外の修復コストや製造開始までの予期しない遅れなどが生じるリスクを最小限に抑えることができます。

ラムリサーチの Reliant™ Systems Business および NUsed systems (再生部品を一部に使用した新規ビルド品)は再生品や新規ビルドのレガシー製品を使用して高性能、最大予測可能、低リスク装置に対する半導体メーカのニーズに応えます。装置は量産対応を第一に考慮され、メーカー認定部品を使用して、ラムリサーチ担当者が決められたスケジュールに従って設置し、高品質の製品との量産の為の信頼できる性能が確保されます。また 90 日間の無償保証期間が付属しており、ソフトウェアのライセンス費用も含まれており、将来にわたるバージョンアップ等へのシステム性能が保証されます。

Lam’s Solutions:

PROCESS APPLICATIONS OFFERINGS
Etch Dielectric, Silicon, Metal Refurbished, New Systems, NUsed
PECVD SiOx, SiN, Low-k, AHM, TEOS Refurbished, New Systems
HDP-CVD STI, ILD, IMD, Advanced Gapfill Refurbished, New Systems
Tungsten CVD Contact, Via Fill Refurbished, New Systems
Photoresist Strip FEOL, BEOL Refurbished
Wet Clean FEOL, BEOL, Packaging Refurbished, New Systems