UPGRADES

Boosting Productivity and Extending Product Lifetimes

램리서치는 넓은 범위의 제품확장 및 생산성 업그레이드 서비스를 제공하여 반도체 제조업체의 장비 투자수익을 극대화합니다. 업그레이드 서비스는 생산성과 신뢰성, 효율성을 향상시키고 전반적인 비용을 절감하도록 설계되었습니다.

플라스마 식각(Plasma Etch), 박막 증착(Thin Film Deposition), 감광막 제거(Photoresist Strip), 웨이퍼 세정 시스템(Wafer Cleaning Systems) 등 램리서치 다양한 제품은 업그레이드가 가능합니다. 이용 가능한 업그레이드 유형은 다음과 같습니다:

  • 기술 – 기존 장비를 사용하여 차세대 제품 공정을 가능하게 하여, 기존 설치기반의 유용수명을 연장합니다
  • 생산성 – 운영 시간 및 스루풋 개선과 운영비 절감을 통해, 양품의 생산량을 늘려줍니다
  • 가용도– 신뢰성을 높이고 예방 점검(Preventative Maintenance, PM) 시간을 늘려 시스템의 전반적인 이용 가능성을 높입니다
  • 수율 – 제품 하자와 과도 출력, 웨이퍼 조각 현상을 줄여 양품 생산량을 증가시킵니다
  • 환경 –에너지 및 가스를 아껴 쓰고 PFC 배출을 줄여 고객이 그린 이니셔티브/법령을 준수할 수 있도록 지원합니다

구체적인 정보는 MyLam® 을 방문하시거나 현지 램리서치 대표부로 문의주시기 바랍니다.

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