LEGACY PRODUCTS

Increasing Production Capacity with Maximum Value

최첨단 웨이퍼 공정이 필요하지 않은 분야에서는 이미 성능이 입증된 기존(레거시) 제품을 사용하여, 적은 비용 투자로 생산 능력을 향상시키는 혜택을 누릴 수 있습니다. 램리서치와 같은 주문자상표부착방식 제조업체(OEM)를 통해 중고시스템 구매와 연계하여 예상치 못한 추가 비용지출이나 생산기간 예측의 어려움 등을 최소화할 수 있습니다.

램의 Reliant™ 시스템 사업은 NUsed 시스템(일부 리퍼브 부품을 사용한 신제품)뿐 아니라 리퍼브한 제품 또는 신규 생산한 레거시 제품을 공급하여, 높은 성능과 예측 가능성 극대화, 그리고 위험도가 낮은 장비를 찾는 반도체 제조업체의 요구에 부응하고 있습니다. 시스템은 램에서 인증받은 직원이 OEM 인증 부품을 사용하여 원래 사양에 맞춰 제작, 바로 생산 투입 가능한 상태로 스케줄에 맞춰 설치하며, 최고 품질의 제품과 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다. 리퍼브 제품에 대한 이러한 빈틈없는 처리에는 새 제품과 동일한 테스트 프로토콜이 적용됩니다. 또한 전담 지역지원팀으로부터90일 간부품과 인력이 제공되며, 소프트웨어 라이센스도 포함되어 시스템 성능을 보증합니다.

Lam’s Solutions:

PROCESS APPLICATIONS OFFERINGS
Etch Dielectric, Silicon, Metal Refurbished, New Systems, NUsed
PECVD SiOx, SiN, Low-k, AHM, TEOS Refurbished, New Systems
HDP-CVD STI, ILD, IMD, Advanced Gapfill Refurbished, New Systems
Tungsten CVD Contact, Via Fill Refurbished, New Systems
Photoresist Strip FEOL, BEOL Refurbished
Wet Clean FEOL, BEOL, Packaging Refurbished, New Systems
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