傳統產品

創造最大生產力與最大價值

對於非最先進的晶圓製程技術而言,晶片製造商可以選擇非尖端(亦即較舊款式)的Legacy產品,享受其已被實證的效能並以較為經濟的方式擴充產能。透過原始設備製造商(OEM),例如Lam Research,採購中古機台可以避免面對不必要的風險、費用和時間支出。

Lam Research所開發Reliant™系統提供翻新(refurbished)或新製的舊款(legacy)產品,還有以NUsed系統(以翻新組件重新組裝)製造的設備,能滿足半導體製造商的需求以達到高性能、可預測性、及低風險的目標。相關系統的製造過程以及達到可逕行生產的安裝服務都由Lam Research認證合格人員以OEM認證組件依照原始規格在預訂時程內完成,能確保產品的最佳品質和可靠度。這種針對系統翻新的完整方案,也採用與新產品相同的測試協定(testing protocols)。此方案還包括專屬的本地支援團隊所提供90天的組件與人力服務、軟體授權、以及系統性保證。

Lam’s Solutions:

PROCESS APPLICATIONS OFFERINGS
Etch Dielectric, Silicon, Metal Refurbished, New Systems, NUsed
PECVD SiOx, SiN, Low-k, AHM, TEOS Refurbished, New Systems
HDP-CVD STI, ILD, IMD, Advanced Gapfill Refurbished, New Systems
Tungsten CVD Contact, Via Fill Refurbished, New Systems
Photoresist Strip FEOL, BEOL Refurbished
Wet Clean FEOL, BEOL, Packaging Refurbished, New Systems
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