Upgrades - Lam Research

升级

提高生产力,延长产品使用寿命

我们提供范围广泛的技术和生产力升级服务,扩展并优化现有机台的工艺性能,从而在整个产品生命周期中提高生产力、可靠性和效率,降低总成本。


升级

泛林集团为一系列产品提供升级,包括等离子体刻蚀、薄膜沉积、光刻胶去胶和硅片清洗系统。我们的升级产品组合包括现有机台的性能和生产力最大化方案。升级涵盖以下类型:

    技术升级 旨在延长现有机台的有效寿命,让已有设备能够处理下一代产品:

    • 资产管理 – 转化利用率不足的资产,优化配置,适应晶圆生产需求
    • 节点扩展 – 将现有机台工具升级到后代工具,以满足高级工艺需求

    生产力升级 通过以更低的运营成本增加正常运行时间、生产量和良率,从而提升系统良品产量:

    • 正常运行时间 – 通过改进可靠性和可服务性、延长预防性维护周期、缩短维护时间,提高整个系统的可用性
    • 生产量 – 通过缩短非生产时间和配方开发时间、优化硅片流程效率,提高工具产量
    • 良率 – 通过减少缺陷、偏移和废弃硅片,提高良品产量
    • 绿色 – 通过节省能源、减少用气和全氟化碳(PFC)排放量,支持客户的绿色环保计划和法规依从性

    如需了解更多信息,请访问 MyLam® 或联系泛林集团驻当地代表。

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