MASS METROLOGY PRODUCTS

PROVIDING PRECISION MEASUREMENT FOR PROCESS INSIGHT

METRYX® 产品系列

技术:质量计量
解决方案: 晶体管, 连接导线, 成像, 先进存储器封装

在线制程监控可用于发现量产晶圆趋势和偏移,以便快速采取纠正措施,防止良率进一步损失。对于沉积、刻蚀和清洗工艺步骤,测量制程前后晶圆的质量变化是一种简单直接的方法来监测和控制制程结果,尤其适合超薄膜、超厚膜和新型芯片设计中的复杂 3D 几何图形,因为此类应用中传统光学计量技术通常无效。

Lam 的 Metryx 质量计量系统具有平台集成模块和独立系统两种形式,可提供亚毫克级的质量测量能力,以实现先进制程监控和三维设备结构控制。

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