{"version":"1.0","provider_name":"Lam Research","provider_url":"https:\/\/www.lamresearch.com\/de\/","author_name":"Sandra Liu","author_url":"https:\/\/www.lamresearch.com\/de\/author\/sandra-liu\/","title":"CORONUS Produktfamilie - Lam Research","type":"rich","width":600,"height":338,"html":"<blockquote class=\"wp-embedded-content\" data-secret=\"YhIbwLZvlv\"><a href=\"https:\/\/www.lamresearch.com\/de\/product\/coronus-product-family\/\">CORONUS Produktfamilie<\/a><\/blockquote><iframe sandbox=\"allow-scripts\" security=\"restricted\" src=\"https:\/\/www.lamresearch.com\/de\/product\/coronus-product-family\/embed\/#?secret=YhIbwLZvlv\" width=\"600\" height=\"338\" title=\"&#8222;CORONUS Produktfamilie&#8220; &#8212; Lam Research\" data-secret=\"YhIbwLZvlv\" frameborder=\"0\" marginwidth=\"0\" marginheight=\"0\" scrolling=\"no\" class=\"wp-embedded-content\"><\/iframe><script type=\"text\/javascript\">\n\/* <![CDATA[ *\/\n\/*! This file is auto-generated *\/\n!function(d,l){\"use strict\";l.querySelector&&d.addEventListener&&\"undefined\"!=typeof URL&&(d.wp=d.wp||{},d.wp.receiveEmbedMessage||(d.wp.receiveEmbedMessage=function(e){var t=e.data;if((t||t.secret||t.message||t.value)&&!\/[^a-zA-Z0-9]\/.test(t.secret)){for(var s,r,n,a=l.querySelectorAll('iframe[data-secret=\"'+t.secret+'\"]'),o=l.querySelectorAll('blockquote[data-secret=\"'+t.secret+'\"]'),c=new RegExp(\"^https?:$\",\"i\"),i=0;i<o.length;i++)o[i].style.display=\"none\";for(i=0;i<a.length;i++)s=a[i],e.source===s.contentWindow&&(s.removeAttribute(\"style\"),\"height\"===t.message?(1e3<(r=parseInt(t.value,10))?r=1e3:~~r<200&&(r=200),s.height=r):\"link\"===t.message&&(r=new URL(s.getAttribute(\"src\")),n=new URL(t.value),c.test(n.protocol))&&n.host===r.host&&l.activeElement===s&&(d.top.location.href=t.value))}},d.addEventListener(\"message\",d.wp.receiveEmbedMessage,!1),l.addEventListener(\"DOMContentLoaded\",function(){for(var e,t,s=l.querySelectorAll(\"iframe.wp-embedded-content\"),r=0;r<s.length;r++)(t=(e=s[r]).getAttribute(\"data-secret\"))||(t=Math.random().toString(36).substring(2,12),e.src+=\"#?secret=\"+t,e.setAttribute(\"data-secret\",t)),e.contentWindow.postMessage({message:\"ready\",secret:t},\"*\")},!1)))}(window,document);\n\/\/# sourceURL=https:\/\/www.lamresearch.com\/wp-includes\/js\/wp-embed.min.js\n\/* ]]> *\/\n<\/script>\n","thumbnail_url":"https:\/\/www.lamresearch.com\/wp-content\/uploads\/2017\/09\/Coronus_Products_1920x600.jpg","thumbnail_width":1920,"thumbnail_height":600,"description":"Der Schwerpunkt der Coronus-Systeme liegt auf der Schr\u00e4gkante und damit auf der Verbesserung der Ausbeute insgesamt. Die Halbleiterverarbeitung kann das Anh\u00e4ufen von R\u00fcckst\u00e4nden sowie die Entstehung rauer Oberfl\u00e4chen entlang dem Waferrand bewirken, von dem aus die R\u00fcckst\u00e4nde abbl\u00e4ttern, in andere Bereiche abdriften und Defekte verursachen k\u00f6nnen, die einen Ger\u00e4teausfall zur Folge haben. Coronus-\u00c4tzprodukte entfernen diese R\u00fcckst\u00e4nde auf den R\u00e4ndern und Coronus Deposition sch\u00fctzt den Waferrand vor Besch\u00e4digungen."}