특수 기술을 위한 로드맵 지원 및 제조업체 생산 수명 연장하는 솔루션
램리서치의 Reliant® 제품은 특수 기술 시장 및 14nm 노드 이하의 기존 CMOS 응용 분야와 같은 광범위한 분야에 식각, 증착 및 세정 솔루션을 제공합니다.
특수 기술의 경우 핵심 단계를 포함한 새로운 솔루션을 개발하여 고객의 로드맵을 지원합니다. 특수 기술 시장은 성장하고 있으며, 전력, CMOS 이미지 센서(CIS), 무선 주파수(RF), 광전자 소자, 아날로그 및 혼합 신호, 미세전자기계시스템(MEMS) 등의 소자를 아우릅니다. 램리서치는 기존의 300mm 기술을 활용하여 200mm 솔루션을 개발함으로써 일부 제조 시설의 생산 수명을 연장하고 있습니다.
14nm 이하 노드의 기존 CMOS의 경우 기존 용량을 늘리거나 제조 시설을 구축해야 합니다. 램리서치는 검증된 솔루션을 제공함으로써 솔루션의 연속성과 속도를 높입니다.
Reliant Systems
Reliant Clean 제품
Reliant Systems Wet Clean/Strip/Etch
램리서치의 Reliant 세정 제품군은 특수 기술의 로드맵을 지원하고 제조 시설의 생산 수명을 연장하는 솔루션을 제공합니다.
Reliant Deposition 제품
Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems 펄스 레이저 증착(PLD)
램리서치의 Reliant 증착 제품군은 특수 기술의 로드맵을 지원하고 제조 시설의 생산 수명을 연장하는 솔루션을 제공합니다.
Reliant Etch 제품
Deep Reactive Ion Etch (DRIE) Reactive Ion Etch (RIE) Reliant Systems
램리서치의 Reliant 식각 제품군은 특수 기술의 로드맵을 지원하고 제조 시설의 생산 수명을 연장하는 솔루션을 제공합니다.