質量測量產品

為製程提供精密測量

METRYX® 系列產品

技術:質量測量
解決方案: 電晶體(Transistor), 內部連線(Interconnect), 層相(Patterning), 高階記憶體(advanced memory)封裝 (Packaging)

L線上製程監控用以辨識當產品晶圓製程發生偏移或異常時,可實現快速修正作業,預防進一步的良率損失。針對沉積、蝕刻和清潔步驟,測量製程中的晶圓質量改變是監控製程結果的簡易直接方法,特別是在傳統光學測量技術效率不彰的情況下,可針對超薄薄膜、超厚薄膜,以及較新晶片設計的複雜 3D 幾何結構進行處理。

Lam Research的 Metryx 質量測量系統為平台整合模組和獨立系統,提供先進的處理監控和控制 3D 元件結構帶來小於毫克的質量測量能力。

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