Upgrades - Lam Research
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Upgrades

Produktivität erhöhen und Produktlebenszeit verlängern

Unser breites Angebot an Produkterweiterungen und Produktivitäts-Upgrades maximiert die Investitionsrentabilität der Fertigungsanlagen, wodurch eine verbesserte Rentabilität, Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit der Anlagen erreicht sowie die Gesamtkosten während des Lebenszyklus einer Anlage gesenkt wird.


Upgrades sind für eine breite Produktpalette von Lam Research verfügbar, einschließlich Plasmaätzen, Dünnschichtabscheidung, Fotolackentfernung und Wafer-Reinigungssysteme. Unser Upgrade-Portfolio enthält Optionen für die Maximierung der Leistungsfähigkeit sowie der Produktivität der installierten Anlagen. Die folgenden Arten von Upgrades sind verfügbar:

Technologische Upgrades sind dazu ausgelegt, die Nutzungsdauer der installierten Anlagen zu verlängern, indem bestehende Anlagen aufgerüstet werden, um Produkte der nächsten Generation herstellen zu können.

  • Anlagen-
    Management
    – Upgrade unausgelasteter Anlagen mit optimaler Konfiguration, um die Anforderungen in der Fab-Produktion zu erfüllen

  • Technologieknoten-
    Erweiterung
    – Upgrade installierter Anlagen auf eine neuere Generation, um fortschrittliche Prozessanforderungen zu erfüllen

Upgrades zur Produktivitätsvsteigerung verbessern den Output guter Produkte durch erhöhte Systemverfügbarkeit, Durchsatz und Ausbeute bei niedrigeren Betriebskosten:

  • Uptime – erhöht die allgemeine Anlagenverfügbarkeit durch Verbesserung der Zuverlässigkeit und Funktionsfähigkeit, Verlängerung der vorbeugenden Wartungszyklen und Verkürzung der Wartungszeit

  • Durchsatz – erhöht den Anlagen-Output durch Verringerung der nichtproduktiven Zeiten, Verkürzung der Rezepturverwaltung und der Optimierung der Wafer-Handling Zeit

  • Ausbeute – erhöht den Output guter Produkte durch die Verminderung von Defekten, Abweichungen und ausrangierten Wafern

  • Green – unterstützt Umweltschutzinitiativen von Kunden und die Erfüllung gesetzlicher Auflagen durch Energieeinsparung und Reduzierung von Gasnutzung sowie die Reduzierung des Ausstoßes von Perfluorcarbon (PFC)

Weitere Informationen finden Sie unter MyLam®; oder kontaktieren Sie Ihren Vertreter von Lam Research vor Ort.

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