Reliant Systems

Erhöhung der Produktionskapazität mit maximaler Wertschöpfung

Lams leistungserprobte und bewährte Anlagen, welche nicht die fortschrittlichsten Prozessapplikationen benötigen, erhöhen die Fertigungskapazität von Chipherstellern bei reduziertem Investitionsvolumen.


Einkäufe bei einem Originalteilhersteller (OEM) wie Lam Research minimieren das Risiko unerwarteter Kosten und unvorhersehbare Zeit der Ramp-up-Phase, die üblicherweise mit gebrauchten Systemen in Zusammenhang gebracht werden.

Lams Produkte von Reliant® entsprechen den Anforderungen von Halbleiterherstellern für hohe Leistung, maximale Vorhersehbarkeit und Anlagen mit niedrigem Risiko durch die Bereitstellung von produktbewährten und neu hergestellten Produkten. Die Anlagen werden hergestellt und produktionsbereit und termingerecht durch Lam-zertifiziertes Personal nach den ursprünglichen Spezifikationen mit OEM-geprüften Ersatzteilen installiert, um hochqualitative Produkte und zuverlässige Leistungen sicherzustellen. Diese sorgfältige Herangehensweise umfasst die gleichen Prüfprotokolle, die bei neuen Produkten angewendet werden. Ersatzteile und Support durch ein engagiertes Team stehen zur Verfügung. Es sind auch Softwarelizenzen verfügbar und die Anlagenleistung ist garantiert.


Reliant Systeme

Reliant Clean Produkte

Reliant Systems Spin Wet Clean Wet Clean/Strip/Etch

Die generalüberholten und neu gebauten Reliant-Produkte bieten zuverlässige, in der Produktion bewährte Lösungen zu niedrigen Betriebskosten für eine Reihe von Reinigungen an der Vorder- und Rückseite / Abschrägung.

Reliant Deposition Produkte

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

Die überholten und neu gebauten Reliant-Produkte bieten zuverlässige, in der Produktion bewährte Lösungen zu niedrigen Betriebskosten für dielektrische Folienanwendungen.

Reliant Etch Produkte

Deep Reactive Ion Etch (DRIE) DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

Die überholten und neu gebauten Reliant-Produkte bieten zuverlässige, in der Produktion bewährte Lösungen zu niedrigen Betriebskosten für Leiter-, Dielektrikum- und Metallätzanwendungen.

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