Reliant Systems - Lam Research
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Reliant Systems

Unterstützung von Roadmaps für Spezialtechnologien und Verlängerung der produktiven Lebensdauer von Fabs

Die Reliant®-Produkte von Lam bieten Ätz-, Abscheidungs- und Reinigungslösungen für eine breite Palette von Anwendungen, z. B. für den Markt der Spezialtechnologien und für Knoten ≥ 14 nm für konventionelle CMOS.

Bei Spezialtechnologien unterstützen wir die Roadmaps unserer Kunden durch die Entwicklung neuer Lösungen, einschließlich kritischer Schritte. Spezialtechnologien sind ein wachsender Markt, der Bauelemente wie Stromversorgung, CMOS-Bildsensoren (CIS), Hochfrequenz (HF), Optoelektronik, analoge und gemischte Signale sowie mikroelektromechanische Systeme (MEMS) umfasst. Außerdem verlängern wir die produktive Lebensdauer einiger dieser Fabs, indem wir bei Bedarf 200-mm-Lösungen entwickeln und dabei auf die etablierte 300-mm-Technologie zurückgreifen.

Für Knoten ≥ 14 nm für konventionelle CMOS müssen entweder bestehende Kapazitäten erweitert oder neue Fabs gebaut werden. Wir sorgen für Kontinuität und Schnelligkeit, indem wir bewährte Lösungen liefern.

Reliant Systeme

Reliant-Reinigungsprodukte

Nassreinigung/ResistentfernungReliant Systems

Unsere Reliant-Reinigungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

Reliant-Abscheidungsprodukte

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)Gepulste Laserabscheidung (PLD)Hochdichte-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung (HDP-CVD)MEM/SIoT DesignautomatisierungPlasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)Reliant Systems

Unsere Reliant-Abscheidungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, RF MEMS, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

Reliant-Ätzprodukte

Reaktives Ionenätzen (RIE)Reliant SystemsTiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)

Unsere Reliant-Ätzprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Transistor