Reliant 设备
推动特色工艺路线图，延长晶圆厂的生产设备利用年限
泛林集团的 Reliant® 产品为许多应用提供刻蚀、沉积和清洗解决方案，例如针对特色工艺市场和 ≥14 纳米节点的传统 CMOS 应用。
针对特色工艺 ，我们正在通过开发新的解决方案包括关键步骤，来助力客户实现他们的路线图。 特色工艺是一个不断增长的市场，涵盖功率、CMOS 图像传感器（CIS）、射频（RF）、光电、模拟和混合信号以及微机电系统（MEMS）等器件。 我们还在必要时利用成熟的 300 毫米技术开发 200 毫米解决方案，从而延长其中一些晶圆厂的生产设备利用年限。
对于节点≥14 纳米的传统 CMOS，需要扩大现有产能或新建晶圆厂。 我们通过提供行之有效的解决方案，实现解决方案的连贯、快速。
