RELIANT系统

提高生产能力,实现价值最大化

对于不需要最先进硅片工艺能力的应用,泛林提供的经过性能验证的非前沿(传统)产品,可使芯片制造商以较小的经济投资提高生产能力。


通过泛林集团这样的原始设备制造商(OEM)进行采购可以最大限度地降低意外成本和投产时间不可预测等风险,而这些是采购二手系统时常常会遇到的问题。

通过提供经过生产验证的新造产品,泛林Reliant® 产品可满足半导体制造商对高性能、最大可预测性和低风险设备的要求。系统由经泛林认证的工作人员按照原始规格制造并安装,并使用OEM认证部件,以确保最高质量的产品和可靠的性能。这种对系统彻底翻新的方法与新产品有相同的测试规范,由当地专门的支持团队提供部件和人力。此外还提供软件许可证,确保系统性能。


Reliant Systems

RELIANT刻蚀产品

DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

Lam的翻新和全新Reliant产品可提供可靠的、经生产验证的解决方案,客户以低成本即可拥有导体,介电质和金属刻蚀应用。

RELIANT沉积产品

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

Lam的翻新和全新Reliant产品可提供可靠的、经生产验证的解决方案,客户以低成本即可拥有介电质薄膜应用。

RELIANT清洗产品

Reliant Systems Spin Wet Clean

Lam的翻新和全新Reliant产品可提供可靠的、经生产验证的解决方案,客户以低成本即可拥有一系列晶圆正面、背面和边缘清洗设备。

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