RELIANT システム

ラムリサーチのRELIANT®製品は、スペシャルティ・テクノロジー市場向けや従来のCMOS14 nm以上のノード向けなど、幅広いアプリケーション向けにエッチング、成膜、および洗浄ソリューションを提供します。

スペシャルティ・テクノロジーでは、重要なステップを含む新しいソリューションを開発することで、お客様のロードマップを実現しています。 スペシャルティ・テクノロジーは成長市場で、電力、CMOS イメージセンサ（CIS）、無線周波数（RF）、オプトエレクトロニック、アナログおよびミックスドシグナル、微小電気機械システム（MEMS）などのデバイスが含まれます。 また、確立された 300 mm 技術を活用して、必要に応じて 200 mm ソリューションを開発することで、これらのファブの生産寿命を延ばすこともできます。

従来の CMOS14 nm 以上のノードについては、新しい既存の施設を拡大、またはファブを構築する必要があります。 ラムリサーチは優れたソリューションを提供することで、継続的に素早くソリューションをお届けします。