RELIANTシステム

経済的に生産能力を増強する

最新のウェハ処理能力を必要としないアプリケーションの場合、ラムリサーチが性能を保証する旧世代製品をご利用いただけます。半導体メーカーは、より少額の設備投資で生産能力を増強できます。


中古製品業者との取引では、最終的なコストや生産までの立ち上げ期間で思いがけないトラブルが起こりがちです。当社より直接購入いただくことで、こうしたリスクを回避することができます。

ラムリサーチのReliant® 製品は、量産実績がある旧世代機種の新品であるため、安心・低リスクです。認定エンジニアが仕様に沿い、純正部品を使用して組み立てるため、高品質で信頼性あるパフォーマンスが実現されます。また、お客様が希望されるスケジュールにあわせ、すぐに利用可能な状態で納入・設置可能です。装置の性能は最新機種と同じ手順で徹底したテストを行っています。各地のカスタマーサポート拠点に必要なパーツと人員を配置しています。システム性能の向上を保証する、ソフトウェアのライセンスも提供しています。


RELIANTシステム

RELIANTエッチング製品

Reliant Systems Spin Wet Clean

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、コンダクター膜、酸化膜、および金属エッチング アプリケーションにおいて低所有コストで、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

RELIANTクリーン製品

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、フロントサイドならびにバックサイド/ベベルのクリーニングにおいて低所有コスト、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

RELIANTデポジション製品

DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

一新および再生されたReliant製品は、酸化膜アプリケーションにおいて低所有コスト(低いランニングコスト)、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

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