信頼の生産性・
迅速な解決
半導体メーカーは多くの技術的課題を抱え、ビジネス環境は競争が激化しています。そのため、設備導入、プロセス開発、プロセス実証、量産立ち上げの全てを効率良く、かつ迅速に展開しなければなりません。こうしたなか、装置メーカーに対しては設備効率、耐用年数、投資効率を最大化できる専門サービスや技能サポートが求められています。
ラムリサーチのカスタマーサポート事業部(CSBG、Customer Support Business Group)は、装置の製品ライフサイクル全体を通して、お客様の技術的要件や生産性向上ニーズに応えるソリューションを提供することに重点を置き活動しています。システム稼働率の最適化、スループット向上、欠陥品削減などが一例で、これらは全て良品ウェハ当たりのコストを削減するサービスです。当社の専門技術部隊も生産性や機能アップグレードなどを通してお客様の資本効率向上に努めています。またReliant® システムビジネスでは、低リスクで予測可能な運用向けに、中古機のリファビッシュ、旧世代(legacy)の新規製造品を提供しています。さらに、お客様やサプライヤーは、パスワードで保護された安全なポータル・サイト、MyLam®を通じてラムリサーチの技術資料やビジネス情報にアクセスできます。
アップグレード
ラムリサーチは既設装置を最適化する様々な生産性アップグレード・技術拡張を用意しています。生産性、信頼性、効率性を高め、製品ライフサイクル全体にわたる総コストを削減するように設計されています。
RELIANT システム
最新のウェハ処理能力を必要としないアプリケーションの場合、ラムリサーチが性能を保証する旧世代製品をご利用いただけます。半導体メーカーは、より少額の設備投資で生産能力を増強できます。