サステナブルな製品イノベーション

以下のサステナブルな製品イノベーションを実施しています。

Product efficiency and sustainability go hand in hand

At Lam, we’re proving that it’s possible to maximize productivity while minimizing the use of raw materials, energy, and space. We’re optimizing our products and processes to be smarter and more efficient, in line with our company and customers’ business and sustainability goals.

These initiatives are critical to our net zero journey, as the largest portion of Lam’s emissions are generated through product use. Beyond building value for our customers through long-lasting, efficient product solutions, we’re engaging them to set and pursue science-based targets. Following are the steps we’re taking to advance our path to net zero while giving our company and customers a competitive edge:

Measuring the carbon footprint and energy consumption of our tools
We’re using Equipment Intelligence sensors to establish baseline data for our products’ energy usage and GHG footprint. This will help us track and measure our progress as we continue to optimize our processes and tools.

Driving energy reductions
Through a two-pronged approach, we’re identifying new ways to reduce product-based energy consumption. We do this by focusing on product improvements that reduce the amount of energy consumed while making each wafer, and by building equipment with more energy-efficient heaters, radio frequency power sources, and other components that enable pure energy savings.

Incorporating Design for Environment (DfE) principles
DfE principles guide us to develop products with their full lifecycle in mind. In doing so, we’re finding ways to reduce our products’ environmental impact while maintaining or improving their quality and value.

Creating products that go further
Lam provides high-quality, low-defect consumable, and nonconsumable spare parts designed to increase circularity while balancing performance, availability, and cost. Our spares offerings leverage services including re-cleaning, repair, refurbishment, and re-coating. This enables the reuse of electrostatic chucks, radio frequency (RF) hardware, showerheads, and other high-value spare parts. By reusing these parts, we build added value into our products and reduce the environmental impacts of manufacturing new tools.

製品の品質と安全を重視することは、すべてのラムリサーチの業務の基本です。 ラムリサーチの製品安全エンジニアは、部門横断的な品質リーダーシップチームによる監督を受けながら、ラムリサーチが提供する製品とサービスが、使用目的において安全であり、市場の規制と基準に準拠していることを確認しています。 私たちは体系的なアプローチで継続的に製品を改善し、調整が必要な場合は迅速に対応します。 また、ラムリサーチは品質管理システムにフレームワークを提供する国際基準であるISO9001認証を取得しています。

製品の安全性に関する懸念事項発生防止、報告、対処
ラムリサーチ製品のリリースプロセスの一部として、すべての新製品は安全認証試験を受けます。 SEMI S2 として一般に知られている製品安全報告書に結果を文書化しています。 ラムリサーチのロジスティクスチームは、洗浄液や潤滑剤といったマテリアルに安全データシートを提供します。 お客様は、ラムリサーチとサービス契約を締結し、適切な製品メンテナンスを受けることができます。また、ラムリサーチは製品の安全な使用に関する通常 1 週間のトレーニングをお客様に提供します。

製品の安全性や性能に関する問題が発生したときは、お客様ごとに通知します。 また、フィールドサービス担当者やお客様がラムリサーチに安全上の問題を報告できるようなシステムも整えています。 製品安全チームは、安全性の懸念を確認するために問題を評価します。 問題が製品に関するものである場合、チームは通常、安全問題報告書を作成し、これに対処します。 問題が行動に関するものである場合、チームはローカルレベルで問題を対処します。

より大規模な安全性のベストプラクティスの促進
お客様や業界の同業者との協力を通じて、業界における製品安全のベストプラクティスをさらに推進します。 例えば、ラムリサーチは SEMI 装置サプライヤーグループがリードすることをサポートし、業界に影響を与える新しい製品規制に対処します。 ラムリサーチは20年以上の間、関係者と協力し半導体製造装置に関するSEMI 環境安全衛生（EHS）ガイドラインの開発、実施、継続的な改善に取り組んできました。 こうした基準は、半導体産業やそのほかの産業で広く使用され、装置、機器、職場環境に関する危険を最小限にしています。

半導体イノベーションの新たな可能性を共に実現 ラムリサーチの技術ビジョンを通じて、私たちは、可能性の限界を押し広げ、半導体技術革新の未来がもたらす新たな機会を実現するために、この業界で最も優秀な頭脳を数多く動員しています。 大学や研究者との協力から業界イベントの主催やスポンサーなど、新しい発見を促す機会へ投資をし、大きなアイデアをたたえています。

ラムリサーチの技術ビジョンには、革新的な人材を育成し、技術を進歩させるという目標をサポートする2つの要素があります：

• 教育の機会とイベントは、知識を共有し、協力し、新しいアイデアを刺激するために技術コミュニティを奨励しています
• 社内および一般向けンイノベーション・プログラムは、外部との協力を活用し、より良いソリューションと速い学習サイクルを可能にします

このアプローチを通して、機会を実現し続け、複雑な問題を解決し、革新的な人材を育成し、技術を前進させる機会を実現し続けています。 以下は、ラムリサーチの技術ビジョンの例です。