質量計測

質量計測は、製造過程で繰り返されるデポジション、エッチング、クリーンなど主要な工程後に質量変化を計測し経過を監視するものです。光学的な手法では、多層膜、高アスペクト比、複雑な3D構造を含んだデバイスの厚み・深みといった特徴を正確に計測するには限界があります。質量計測では、こうした高度なデバイスでも高精度に計測できるため、高い加工精度が要求される重要工程の監視と制御に有効です。

ラムリサーチの高精度質量計測製品シリーズは、デポジション、エッチング、クリーンの工程においてリアルタイムでわずかな質量変動を記録し、プロセス異常の兆候を検知するため、インライン監視と制御機能として利用できます。