プロセスへの洞察を深める高精度計測
質量計測は、製造過程で繰り返されるデポジション、エッチング、クリーンなど主要な工程後に質量変化を計測し経過を監視するものです。光学的な手法では、多層膜、高アスペクト比、複雑な3D構造を含んだデバイスの厚み・深みといった特徴を正確に計測するには限界があります。質量計測では、こうした高度なデバイスでも高精度に計測できるため、高い加工精度が要求される重要工程の監視と制御に有効です。
ラムリサーチの高精度質量計測製品シリーズは、デポジション、エッチング、クリーンの工程においてリアルタイムでわずかな質量変動を記録し、プロセス異常の兆候を検知するため、インライン監視と制御機能として利用できます。
質量計測
当社製品
METRYX シリーズ製品
Mass Metrology
ラムリサーチの質量計測システムは、高度なプロセス監視と3次元デバイス構造の制御により、サブミリグラムレベルの計測能力を提供します。
Related Blog Posts
-
Weighing Wafers Simplifies Metrology
May 6, 2019Building semiconductors is an incredibly exacting process, with critical dimensions posing significant equipment challenges – and with the possibility that small process excursions can cause the yield to decrease. For this reason, it has always been important to measure and monitor the most critical process steps to ensure that no further processing is done on a faulty lot and so that equipment can be brought back into spec before any more lots are misprocessed.