정밀 계측으로 공정 파악
질량 계측을 통해 증착, 식각, 세정 공정 후 질량의 변화를 측정하여 자주 반복되는 이러한 핵심 제조 단계를 모니터링하고 제어합니다. 박막 스택, 고종횡비 구조, 복잡한 3D 아키텍처 같은 디자인 구성요소의 경우, 광학 기법으로는 두껍거나, 깊거나, 불투명한 피처를 정확하게 측정하는데 한계가 있습니다. 이러한 용도에서 질량 변화를 측정할 수 있으면 변동 오차가 거의 없는 고급 소자 구조물의 임계 피처를 간단하고 정밀하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다.
램리서치의 고정밀 질량 계측 시스템 라인은 증착, 식각, 세정 단계의 인라인 모니터링과 제어를 실시간으로 실행합니다. 미세한 질량 변화를 기록하여 잠재적 공정 변화를 정확하게 감지할 수 있습니다.
질량 계측
램리서치 제품
METRYX 제품군
Mass Metrology
램리서치의 질량 계측 시스템에는 3차원 소자 구조의 첨단 공정 모니터링과 제어에 필요한 밀리그램 미만 단위의 측정 기능이 있습니다.
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May 6, 2019Building semiconductors is an incredibly exacting process, with critical dimensions posing significant equipment challenges – and with the possibility that small process excursions can cause the yield to decrease. For this reason, it has always been important to measure and monitor the most critical process steps to ensure that no further processing is done on a faulty lot and so that equipment can be brought back into spec before any more lots are misprocessed.