Massenmetrologieprodukte

Massenmetrologie misst die Masseänderung nach Abscheidungs- und Reinigungsprozessen und ermöglicht dadurch die Überwachung und präzise Steuerung dieser häufig wiederholten Kernarbeitsschritte in der Fertigung. Für bestimmte Design-Komponenten – wie Dünnfilme in Stack-Technologie, hoch-aspektierte Strukturen und komplexe 3D-Architekturen – weisen optische Verfahren Limitierungen auf, wenn es darum geht, dicke, tiefe oder visuell undeutlich wahrnehmbare Strukturen genau zu messen. Das Messen der Masseveränderung während dieser Prozessschritte ermöglicht hoch-präzise Lösungen für die Überwachung und Steuerung kritischer Eigenschaften in modernen Bauelementstrukturen, die in der Regel keinerlei Abweichungstoleranz erlauben.

Lams Hochpräzisions-Massenmetrologiesysteme bieten In-line-Monitoring und Kontrolle von Abscheidungs-, Ätz- und Reinigungsschritten in Echtzeit – dadurch werden kurzfristige Masseänderungen erfasst und die Erkennung potenzieller Prozessabweichungen ermöglicht.