Massenmetrologieprodukte

Präzisionsmessung ermöglicht Prozesseinblick

Massenmetrologie misst die Masseänderung nach Abscheidungs- und Reinigungsprozessen und ermöglicht dadurch die Überwachung und präzise Steuerung dieser häufig wiederholten Kernarbeitsschritte in der Fertigung. Für bestimmte Design-Komponenten – wie Dünnfilme in Stack-Technologie, hoch-aspektierte Strukturen und komplexe 3D-Architekturen – weisen optische Verfahren Limitierungen auf, wenn es darum geht, dicke, tiefe oder visuell undeutlich wahrnehmbare Strukturen genau zu messen. Das Messen der Masseveränderung während dieser Prozessschritte ermöglicht hoch-präzise Lösungen für die Überwachung und Steuerung kritischer Eigenschaften in modernen Bauelementstrukturen, die in der Regel keinerlei Abweichungstoleranz erlauben.

Lams Hochpräzisions-Massenmetrologiesysteme bieten In-line-Monitoring und Kontrolle von Abscheidungs-, Ätz- und Reinigungsschritten in Echtzeit – dadurch werden kurzfristige Masseänderungen erfasst und die Erkennung potenzieller Prozessabweichungen ermöglicht.


Massenmetrologie (Mass Metrology)

Unsere Produkte
METRYX PRODUKTFAMILIE

Mass Metrology

Unsere Massemesssysteme bieten Messmöglichkeiten im Milligrammbereich für erweiterte Prozessüberwachung und Steuerung dreidimensionaler Gerätestrukturen.

Related Blog Posts

circle-arrow2circle-arrow2facebookgooglehandshake2health2linkedinmenupdfplant2searchtwitteryoutube