Upgrades

Upgrades sind für eine breite Produktpalette von Lam Research verfügbar, einschließlich Plasmaätzen, Dünnschichtabscheidung, Fotolackentfernung und Wafer-Reinigungssysteme. Unser Upgrade-Portfolio enthält Optionen für die Maximierung der Leistungsfähigkeit sowie der Produktivität der installierten Anlagen. Die folgenden Arten von Upgrades sind verfügbar:

Technologische Upgrades sind dazu ausgelegt, die Nutzungsdauer der installierten Anlagen zu verlängern, indem bestehende Anlagen aufgerüstet werden, um Produkte der nächsten Generation herstellen zu können.

• Anlagen-Management– Upgrade unausgelasteter Anlagen mit optimaler Konfiguration, um die Anforderungen in der Fab-Produktion zu erfüllen
• Technologieknoten-Erweiterung– Upgrade installierter Anlagen auf eine neuere Generation, um fortschrittliche Prozessanforderungen zu erfüllen

Upgrades zur Produktivitätsvsteigerung verbessern den Output guter Produkte durch erhöhte Systemverfügbarkeit, Durchsatz und Ausbeute bei niedrigeren Betriebskosten:

• Uptime – erhöht die allgemeine Anlagenverfügbarkeit durch Verbesserung der Zuverlässigkeit und Funktionsfähigkeit, Verlängerung der vorbeugenden Wartungszyklen und Verkürzung der Wartungszeit
• Durchsatz – erhöht den Anlagen-Output durch Verringerung der nichtproduktiven Zeiten, Verkürzung der Rezepturverwaltung und der Optimierung der Wafer-Handling Zeit
• Ausbeute – erhöht den Output guter Produkte durch die Verminderung von Defekten, Abweichungen und ausrangierten Wafern
• Green – unterstützt Umweltschutzinitiativen von Kunden und die Erfüllung gesetzlicher Auflagen durch Energieeinsparung und Reduzierung von Gasnutzung sowie die Reduzierung des Ausstoßes von Perfluorcarbon (PFC)

Weitere Informationen finden Sie unter MyLam®; oder kontaktieren Sie Ihren Vertreter von Lam Research vor Ort.