업그레이드

플라즈마 식각, 박막 증착, 포토레지스트 제거(strip), 웨이퍼 세정 시스템 등 램리서치의 광범위한 제품을 대상으로 업그레이드를 실시합니다. 업그레이드 포트폴리오를 통해 이미 설치되어 있는 기반의 생산성은 물론 기능도 극대화시킵니다. 업그레이드 서비스는 다음과 같습니다.

기술 업그레이드 차세대 제품을 처리하는 기존 장비를 업그레이드하여 설치 기반의 유효 수명 연장

• 자산 관리 – 활용도가 낮은 자산을 시설 생산 요건별로 필요한 최적의 구성으로 전환
• 노드 확장 – 고급 공정 요건을 충족하도록 설치 기반 도구를 최신 세대로 전환

생산성 업그레이드   더 낮은 운영비로 가동 시간, 처리량, 수율을 높여 적합 제품의 시스템 출력을 강화

• 가동 시간  – 신뢰성과 사용 가능성을 개선하고, 예측 정비 주기를 확장하며, 정비 시간을 단축하여 전체 시스템 가용성 증대
• 처리량 –비생산 시간을 줄이고, 레시피 시간을 줄이며, 웨이퍼 흐름 효율을 최적화하여 도구 산출량 증대
• 수율 – 결함, 배제 및 폐기용 웨이퍼를 줄여 적합 제품의 산출량 증대
• 친환경 – 과불화탄소(PFC) 산출량을 줄이는 것뿐만 아니라 에너지를 보존하고 가스 사용을 줄여 고객의 친환경 프로그램 및 규제 준수 지원

자세한 내용은은 MyLam^® 에서 확인하시거나 현지 램리서치 담당자에게 문의하시기 바랍니다.