升级

泛林集团为一系列产品提供升级，包括等离子体刻蚀、薄膜沉积、光刻胶去胶和硅片清洗系统。我们的升级产品组合包括现有机台的性能和生产力最大化方案。升级涵盖以下类型：

技术升级 旨在延长现有机台的有效寿命，让已有设备能够处理下一代产品：

• 资产管理 – 转化利用率不足的资产，优化配置，适应晶圆生产需求
• 节点扩展 – 将现有机台工具升级到后代工具，以满足高级工艺需求

生产力升级 通过以更低的运营成本增加正常运行时间、生产量和良率，从而提升系统良品产量：

• 正常运行时间 – 通过改进可靠性和可服务性、延长预防性维护周期、缩短维护时间，提高整个系统的可用性
• 生产量 –通过缩短非生产时间和配方开发时间、优化硅片流程效率，提高工具产量
• 良率 – 通过减少缺陷、偏移和废弃硅片，提高良品产量
• 绿色 –通过节省能源、减少用气和全氟化碳（PFC）排放量，支持客户的绿色环保计划和法规依从性

如需了解更多信息，请访问 MyLam^® 或联系泛林集团驻当地代表。.