生產力與技術升級

一系列的Lam Research產品都可提供功能升級服務，包括電漿蝕刻、薄膜沉積、光阻去除，和晶圓清洗系統。 我們的升級產品組合可最大化既有安裝設備的功能和生產力，提供的升級類型包括：

技術升級 透過升級現有設備來處理下一代產品，以延長既有安裝產品的使用壽命：

• 資產管理 – 將利用率低的資產轉換為晶圓廠生產所需的最佳配置
• 技術世代延伸擴展 – 將既有安裝的設備轉換為較新世代，以滿足先進製程的要求

生產力升級 透過更低的營運成本增加設備使用率、生產量和良率來提高產出：

• 設備使用率 – 透過提高可靠性和可維修性，以延長預防性維修週期和縮短維修時間來提升整體機台使用率
• 生產量 – 透過縮短閒置時間、配方時間和最佳化晶圓流程效率來提升增加機台的產出
• 良率 – 透過減少瑕疵、良率偏移和報廢晶圓來提升良好產品的產出
• 綠色環保 – 透過節約能源和減少天然氣使用以及減少全氟化碳(PFC)產出，支援客戶的綠色行動和法規遵循

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