Reliant 系統 - Lam Research

Reliant 系統

推動特殊製程技術藍圖,延長晶圓廠的生產壽命

科林研發的 Reliant® 產品為各式應用提供蝕刻、沉積和清洗解決方案,例如針對特殊製程市場和傳統 CMOS ≥14 奈米節點的應用。

針對特殊製程,我們正在透過開發新的解決方案,包括關鍵步驟,來實現客戶的技術藍圖。 特殊製程是一個不斷成長的市場,涵蓋電源、CMOS 影像感測器(CIS)、射頻(RF)、光電、類比和混合訊號以及微機電系統(MEMS)等元件。 我們還在必要時利用成熟的 12吋晶圓技術開發8吋晶圓解決方案,從而延長其中一些晶圓廠的生產壽命。

對於節點≥14 奈米的傳統 CMOS,需要擴大現有產能或新建晶圓廠。 我們透過提供行之有效的解決方案,實現解決方案的連續性和速度。


Reliant 系統

Reliant 沉積產品

Reliant 系統 化學氣相沉積(CVD) 脈衝雷射沉積(PLD) 電漿輔助化學氣相沉積(PECVD) 高密度電漿化學氣相沉積(HDP-CVD)

我們的 Reliant 沉積產品可實現特殊製程藍圖,並延長晶圓廠的生產壽命。

Reliant 清洗產品

Reliant 系統 濕式清洗/光阻去除/蝕刻

我們的 Reliant 清洗產品可實現特殊製程藍圖,並延長晶圓廠的生產壽命。

Reliant 蝕刻產品

Reliant 系統 反應離子蝕刻(RIE) 深反應離子蝕刻(DRIE)

我們的 Reliant 蝕刻產品可實現特殊製程藍圖,並延長晶圓廠的生產壽命。

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