RELIANT 系統

提升產能,創造最大價值

針對不需要最先進晶圓處理功能的應用,Lam驗證合格的成熟製程產品能以較低的經濟投資提高晶片製造商的生產產能。


透過Lam Research原廠設備製造商進行採購,可以把非預期成本以及無法預測的量產時間降至最低,這些都是採用二手設備常見的風險。

透過提供經過生產驗證以及新建的產品,Lam的Reliant®機台可滿足半導體製造商對高效能、最高可預測性和低風險設備的需求。機台會由Lam認證的專業人員按照原始規格與時程建立和安裝生產環境,並使用OEM認證的零件來確保最高品質的產品和可靠效能。此完善作法包括採用與新產品相同的測試準則。零件和人工是由專門的在地支援團隊所提供。亦可提供軟體授權,確保系統效能。


Reliant Systems

RELIANT沉積產品

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

Lam Research的整修與新建 Reliant產品可為介電層薄膜應用提供可靠、通過生產驗證的低成本解決方案。

RELIANT清洗產品

Reliant Systems Spin Wet Clean

Lam Research的整修與新建 Reliant產品可為各種晶面和晶背/晶邊清洗應用提供可靠、通過生產驗證的低成本解決方案。

RELIANT蝕刻產品

DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

Lam Research的整修與新建 Reliant產品可為導體、介電層與金屬蝕刻應用提供可靠、通過生產驗證的低成本解決方案。

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