脈衝雷射沉積(PLD)
Our Pulsus product family provides thin film deposition solutions for a wide range of complex multi-element materials for Specialty Technologies applications.
Reliant 系統 化學氣相沉積(CVD) 脈衝雷射沉積(PLD) 電漿輔助化學氣相沉積(PECVD) 高密度電漿化學氣相沉積(HDP-CVD)
我們的 Reliant 沉積產品可實現特殊製程藍圖,並延長晶圓廠的生產壽命。