RF MEMS Archives - Lam Research

Solution: RF MEMS

Pulsus シリーズ製品

パルスレーザー堆積(PLD)

LamのPulsusシリーズ製品は、スペシャルティテクノロジーアプリケーション向けに、幅広い複雑な多元材料の薄膜成膜ソリューションを提供します。

RELIANT成膜製品

RELIANT システム パルスレーザー堆積(PLD) プラズマ化学気相成長(PECVD) 化学気相成長(CVD) 高密度プラズマ化学気相成長(HDP-CVD)

RELIANT 成膜製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。

circle-arrow2circle-arrow2facebookgooglehandshake2health2linkedinmenupdfplant2searchtwitteryoutube