RF MEMS Archives - Lam Research

Solution: RF MEMS

Pulsus シリーズ製品

パルスレーザー堆積(PLD)

ラムリサーチのPulsus シリーズ製品は、スペシャルティ・テクノロジーアプリケーション向けに、幅広い複雑な複合材料の薄膜形成ソリューションを提供します。

RELIANT成膜製品

RELIANT システム パルスレーザー堆積(PLD) プラズマ化学気相成長(PECVD) 化学気相成長(CVD) 高密度プラズマ化学気相成長(HDP-CVD)

RELIANT 成膜製品は、スペシャルティ・テクノロジーのロードマップを実現し、ファブの生産寿命を延ばします。

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