Prestis™

業界の課題

スペシャルティ・テクノロジーにおける多様なアプリケーションには、新しいマテリアルのプロセスが必要です。 そのような材料のひとつが、スカンジウムを多く含む窒化スカンジウムアルミニウム（AlScN）です。 5G 市場の成長に伴い、より高い周波数帯域のフィルターが必要となり、既存の量産技術に課題が生じています。 これらの課題に対処するには、より高度なデバイス設計を可能にする、非常に汎用性の高い薄膜形成技術が必要です。 LamのPrestis™製品は、40%以上のAlScN膜の大量生産を可能にします。

• RFフィルターは、ネットワークが処理できるユーザー数を増やすと同時に、各ユーザーの速度を向上させることで、5GとWiFi 6のパフォーマンスにおいて重要な役割を果たします。 高スカンジウム含有膜は、機械的結合係数を高めることでRFフィルターの性能を向上させます。
• MEMSマイクロフォンは、5G対応デバイスの音声コントロール機能やノイズキャンセリングに不可欠な、こもった音も正確に捉えることができる高いS/N比が評価されています。 高スカンジウム含有膜により、圧電性能（e31,f）と誘電損失（tan d）が複合的に向上し、S/N比が改善されます。

お客様の主なメリット

• 複雑なマテリアル、特に AlScN などのセラミックを成膜する多用途性
• 低い誘電損失と高い圧電性能を含む、優れた膜質
• 膜厚やストレスの WiW 均一性調整といった高度な膜制御
• 既存のインストールベースである2300® トランスポートモジュールを活用し、エッチングなど他のLam製品との相乗効果を生み出します。