Prestis™

行业挑战

特色工艺领域的各种应用需要对新兴材料进行加工。 其中一种材料是钪含量高的氮化铝钪（AlScN）。 随着 5G 市场的增长，对更高频频带滤波器的需求给现有的大批量生产技术带来了挑战。 为了满足这些颇为挑战的要求，需要一种用途广泛的薄膜沉积技术来实现更先进的器件设计。 泛林集团的 Prestis™ 产品可实现 ≥ 40% AlScN 薄膜的量产。

• 射频滤波器可增加网络可处理的用户数量，同时提高每个用户的速度，从而在 5G 和 WiFi 6 性能中发挥关键作用。 薄膜的高钪含量通过增强机械耦合系数来改善射频滤波器的性能。
• MEMS 麦克风因其高信噪比而受到重视，即使是低沉的声音也能被准确捕捉，这对于 5G 设备中的语音控制功能和噪声消除至关重要。 薄膜中的高钪含量通过综合提高压电性能（e31,f）和介电损耗（tan d）来改善信噪比。

主要客户利益

• 用途广泛，可沉积复杂材料（尤其是 AlScN 等陶瓷）
• 出色的薄膜质量，包括高压电性能和低介电损耗
• 先进的薄膜控制，如 WiW 对薄膜厚度和应力的均匀性调整
• 利用 2300® 传输平台的现有安装基础，与刻蚀等其他泛林集团产品产生协同效应