我们的解决方案
传感器与换能器
DSiE Product Family
这些产品为若干关键和非关键深硅刻蚀应用提供了高生产率的特殊工艺控制。
DV-PRIME和DA VINCI产品
这些产品提供了所需的工艺灵活性和高生产率，以解决整个制造过程中的多个晶片清洗步骤。
Fabtex™ Yield Optimizer
Fabtex™ Yield Optimizer is a cutting-edge software platform designed to help semiconductor foundries accelerate yield ramp and improve high-volume manufacturing performance.
KIYO产品系列
Lam市场领先的导体刻蚀产品能够为关键器件在保障高生产率的前提下提供所需的高精度和控制。
METRYX产品系列
Lam的质量计量系统为先进的工艺监测和三维设备结构控制提供了微克级别的测量能力。
OverViz
OverViz™ 是一个用于等离子体放电高保真建模的工业仿真软件平台。
Prestis™
我们的 Prestis™ 产品为特色工艺应用领域的各种复杂多元素材料提供了薄膜沉积解决方案。
Reliant 清洗产品
我们的 Reliant 清洗产品可实现特色工艺路线图，并延长晶圆厂的生产设备利用年限。
Reliant 沉积产品
我们的 Reliant 沉积产品可实现特色工艺路线图，并延长晶圆厂的生产设备利用年限。
Reliant 刻蚀产品
我们的 Reliant 刻蚀产品可实现特色工艺路线图，并延长晶圆厂的生产设备利用年限。
SEMulator3D
SEMulator3D® is a semiconductor process modeling platform that offers wide ranging technology development capabilities.
SP系列产品
这些经过验证的产品系列可提供可靠的、成本效益高的湿清洗/湿刻蚀解决方案，可温和地去除晶片上不需要的材料。
SPEED产品系列
这些介电质沉积产品提供高深宽比空间的完全间隙填充，具有行业领先的产量和可靠性。
Syndion 产品系列
对于深刻蚀应用，此产品系列提供了关键高纵横比特征所需的卓越的跨晶片均匀性控制。
VECTOR产品系列
Lam的PECVD产品系列为广泛的器件应用提供了高生产率的精密介电薄膜沉积。
Recent Blog Posts
How Lam Research Enables a Sensational Technology: Haptics
Imagine an immersive virtual experience where your sense of touch seems every bit as real as the sights and sounds of the digital world you’re exploring. Feel the sensation of catching a ball in your hands or the keys clicking on a virtual keyboard, even though they only exist in cyberspace. The sensations are the results of haptic technologies enabled in part by innovations from Lam.
Prestis Is a Breakthrough for PiezoMEMS Devices
In a previous blog post, we introduced the Prestis PLD system, a novel deposition technology developed by Lam Research to enable the production of high-quality AlScN films for piezoMEMS applications. In this post, we explain how the Prestis system works, and how it can achieve superior film quality and performance compared to conventional technologies.