Sensors & Transducers | Our Solutions | Lam Research
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Sensoren & Transducer Lösungen 

Transducer (Wandler) sind Bauteile, die eine bestimmte Form von Energie – wie Licht, Bewegung, Hitze oder eine chemische Reaktion – in eine andere umwandeln. So sind beispielsweise Stellgeräte (Aktoren) eine Art Transducer, die Energie in Bewegung umwandeln. Von einem Sensor spricht man, wenn das Output des Transducers die Energie in ein lesbares Format (eine analoge oder digitale Repräsentation) umwandelt. Transducer und Sensoren – für die sich immer zahlreichere Anwendungsgebiete finden – werden in der Regel dazu verwendet, Signale, die im Alltag generiert werden, umzuwandeln und zu messen. Obschon die Herstellung dieser Elemente nicht notwendig das neueste Fertigungsequipment benötigt, erfordert es doch die Entwicklung von flexiblen Prozessen, die die Realisierung vieler unterschiedlicher Designs unterstützen. Einige Fertigungsschritte involvieren auch Materialien wie piezoelektrische Dünnfilme, die in anderen Bauteilen nicht verwendet werden. Daraus resultieren höchste Anforderungen an die technische Leistungsfähigkeit, Zuverlässigkeit, Produktivität und Gesamtkosteneffizienz von Halbleiterfertigungsanlagen.


Sensoren & Transducer

Unsere Lösungen
DV-PRIME UND DA VINCI
Produktfamilie

Nassreinigung/Strippen/Ätzen Wet Clean/Strip/Etch

Diese Produkte bieten die Prozessflexibilität, die bei hoher Produktivität erforderlich ist, um mehrere Waferreinigungsschritte in der gesamten Fertigung abzudecken.

Kiyo PRODUKTFAMILIE

Reaktive Ionenätzung (RIE)

Diese marktführenden Leiterätzungsprodukte bieten höchste Präzision und Kontrolle bei hoher Produktivität, die für kritische Gerätefunktionen erforderlich sind.

METRYX PRODUKTFAMILIE

Mass Metrology

Unsere Massemesssysteme bieten Messmöglichkeiten im Milligrammbereich für erweiterte Prozessüberwachung und Steuerung dreidimensionaler Gerätestrukturen.

Pulsus-Produktfamilie

Gepulste Laserabscheidung (PLD)

Unsere Pulsus-Produktfamilie bietet Lösungen für die Dünnschichtabscheidung einer breiten Palette komplexer Materialien mit mehreren Verbindungen für Spezialtechnologien.

Reliant-Abscheidungsprodukte

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Chemische Plasma-Gasphasenabscheidung mit hoher Dichte (HDP-CVD) Gepulste Laserabscheidung (PLD) Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) Reliant Systems

Unsere Reliant-Abscheidungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Reliant-Ätzprodukte

Reaktive Ionenätzung (RIE) Reliant Systems Tiefe reaktive Ionenätzung (DRIE)

Unsere Reliant-Ätzprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Reliant-Reinigungsprodukte

Nassreinigung/Strippen/Ätzen Reliant Systems

Unsere Reliant-Reinigungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

SENSE.I PRODUKTFAMILIE

Atomic Layer Etch (ALE) Deep Reactive Ion Etch (DRIE) Tiefe reaktive Ionenätzung (DRIE)

Unsere neueste Ätzplattform bietet beispiellose Systemintelligenz in einer kompakten Architektur mit hoher Dichte, um Prozessleistung bei höchster Produktivität zu erzielen.

SP-SERIE Produktfamilie

Nassreinigung/Strippen/Ätzen Wet Clean/Strip/Etch

Diese bewährte Produktfamilie bietet zuverlässige, kostengünstige Nassreinigungs- / Nassätzlösungen, mit denen unerwünschte Materialien vorsichtig vom Wafer entfernt werden.

SPEED Produktfamilie

Chemische Plasma-Gasphasenabscheidung mit hoher Dichte (HDP-CVD)

Diese dielektrischen Abscheidungsprodukte bieten eine vollständige Lücke in Räumen mit hohem Aspektverhältnis und branchenführendem Durchsatz und Zuverlässigkeit.

Syndion-Produktfamilie

Reaktive Ionenätzung (RIE) Tiefe reaktive Ionenätzung (DRIE)

Für Tiefenätzanwendungen bietet diese Produktfamilie die außergewöhnliche Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit, die für kritische Features mit hohem Querschnittsverhältnis unabdingbar ist.

Vector Produktfamilie

Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)

Unsere PECVD-Produktfamilie ermöglicht eine präzise dielektrische Filmabscheidung bei hoher Produktivität für eine Vielzahl von Anwendungen.

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