Sensoren & Transducer Lösungen 

Transducer (Wandler) sind Bauteile, die eine bestimmte Form von Energie – wie Licht, Bewegung, Hitze oder eine chemische Reaktion – in eine andere umwandeln. So sind beispielsweise Stellgeräte (Aktoren) eine Art Transducer, die Energie in Bewegung umwandeln. Von einem Sensor spricht man, wenn das Output des Transducers die Energie in ein lesbares Format (eine analoge oder digitale Repräsentation) umwandelt. Transducer und Sensoren – für die sich immer zahlreichere Anwendungsgebiete finden – werden in der Regel dazu verwendet, Signale, die im Alltag generiert werden, umzuwandeln und zu messen. Obschon die Herstellung dieser Elemente nicht notwendig das neueste Fertigungsequipment benötigt, erfordert es doch die Entwicklung von flexiblen Prozessen, die die Realisierung vieler unterschiedlicher Designs unterstützen. Einige Fertigungsschritte involvieren auch Materialien wie piezoelektrische Dünnfilme, die in anderen Bauteilen nicht verwendet werden. Daraus resultieren höchste Anforderungen an die technische Leistungsfähigkeit, Zuverlässigkeit, Produktivität und Gesamtkosteneffizienz von Halbleiterfertigungsanlagen.



Sensoren & Transducer

Unsere Lösungen

DSiE PRODUKTFAMILIE

Deep Reactive Ion Etch (DRIE)

Diese Produkte bieten eine hervorragende Prozesskontrolle bei hoher Produktivität für verschiedene kritische und nicht kritische Anwendungen des tiefen Ätzens von Silizium.

DV-PRIME UND DA VINCI
Produktfamilie

Spin Wet Clean Wet Clean/Strip/Etch

Diese Produkte bieten die Prozessflexibilität, die bei hoher Produktivität erforderlich ist, um mehrere Waferreinigungsschritte in der gesamten Fertigung abzudecken.

Kiyo PRODUKTFAMILIE

Reactive Ion Etch

Diese marktführenden Leiterätzungsprodukte bieten höchste Präzision und Kontrolle bei hoher Produktivität, die für kritische Gerätefunktionen erforderlich sind.

METRYX PRODUKTFAMILIE

Mass Metrology

Unsere Massemesssysteme bieten Messmöglichkeiten im Milligrammbereich für erweiterte Prozessüberwachung und Steuerung dreidimensionaler Gerätestrukturen.

Reliant Clean Produkte

Reliant Systems Spin Wet Clean Wet Clean/Strip/Etch

Die generalüberholten und neu gebauten Reliant-Produkte bieten zuverlässige, in der Produktion bewährte Lösungen zu niedrigen Betriebskosten für eine Reihe von Reinigungen an der Vorder- und Rückseite / Abschrägung.

Reliant Deposition Produkte

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

Die überholten und neu gebauten Reliant-Produkte bieten zuverlässige, in der Produktion bewährte Lösungen zu niedrigen Betriebskosten für dielektrische Folienanwendungen.

Reliant Etch Produkte

Deep Reactive Ion Etch (DRIE) DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

Die überholten und neu gebauten Reliant-Produkte bieten zuverlässige, in der Produktion bewährte Lösungen zu niedrigen Betriebskosten für Leiter-, Dielektrikum- und Metallätzanwendungen.

SENSE.I PRODUKTFAMILIE

Atomic Layer Etch (ALE) Deep Reactive Ion Etch (DRIE) DRIE

Unsere neueste Ätzplattform bietet beispiellose Systemintelligenz in einer kompakten Architektur mit hoher Dichte, um Prozessleistung bei höchster Produktivität zu erzielen.

SP-SERIE Produktfamilie

Wet Clean/Strip/Etch

Diese bewährte Produktfamilie bietet zuverlässige, kostengünstige Nassreinigungs- / Nassätzlösungen, mit denen unerwünschte Materialien vorsichtig vom Wafer entfernt werden.

SPEED Produktfamilie

High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD)

Diese dielektrischen Abscheidungsprodukte bieten eine vollständige Lücke in Räumen mit hohem Aspektverhältnis und branchenführendem Durchsatz und Zuverlässigkeit.

Syndion-Produktfamilie

DRIE Reactive Ion Etch

Für Tiefenätzanwendungen bietet diese Produktfamilie die außergewöhnliche Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit, die für kritische Features mit hohem Querschnittsverhältnis unabdingbar ist.

Vector Produktfamilie

Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

Unsere PECVD-Produktfamilie ermöglicht eine präzise dielektrische Filmabscheidung bei hoher Produktivität für eine Vielzahl von Anwendungen.

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