傳感器(Transducer)是用來改變能量型態的元件 ─ 像是把光、運動、熱或化學反應 ─ 從一種形式改變為另一種形式。例如，致動器(actuator)是一種把能量轉換為運動的傳感器。當傳感器的輸出把能量轉換為可讀格式(類比或數位形式)時，它就被稱為感測器(sensor)。許多類型的傳感器和感測器是用來轉換和測量我們周圍環境中產生的訊號，而其應用正持續地成長。雖然生產這些元件並不一定需要最新的製程設備，但確實需要為其開發製程技術，以支援許多獨特的元件設計。此外，有些製造步驟涉及未在其他元件類型中使用的材料，例如壓電薄膜。因此，設備的技術能力、可靠性、生產力和整體成本效益至關重要。.
感測器與傳感器
解決方案
SP系列產品
濕式清洗／光阻去除／蝕刻
這款通過驗證的產品提供可靠、具成本效益的濕式清洗/濕式蝕刻解決方案，可輕柔地去除晶圓上的不必要材料。
Syndion 系列產品
反應離子蝕刻（RIE） 深反應離子蝕刻（DRIE）
對於深蝕刻應用，該產品系列提供了實現關鍵高深寬比結構所需的卓越整片晶圓均勻度控制。
