换能器是将某种能量——如光能、动能、热能或化学反应能——从一种形式转化成另一种形式的器件。例如，致动器就是一种把能量转换成动能的换能器。当换能器的输出将能量转换成可读形式（模拟或数字表示）时，则被称为传感器。有多种类型的换能器和传感器用于转换和测量周边环境中产生的信号，其应用范围不断扩大。虽然不必采用最新一代的加工设备生产这些器件，但却需要开发相应的工艺，以支持许多独特的器件设计。另外，有些生产步骤涉及其他器件类型未使用的材料，如压电薄膜。因此，设备技术性能、可靠性、生产力和整体成本效益都至关重要。
传感器与换能器
我们的解决方案
SP系列产品
湿法清洗/去胶/刻蚀
这些经过验证的产品系列可提供可靠的、成本效益高的湿清洗/湿刻蚀解决方案，可温和地去除晶片上不需要的材料。
Syndion 产品系列
反应离子刻蚀（RIE） 深反应离子刻蚀（DRIE）
对于深刻蚀应用，此产品系列提供了关键高纵横比特征所需的卓越的跨晶片均匀性控制。
