产品
SEMulator3D
半导体工艺建模
LAM
SEMulator3D®是一个半导体工艺建模平台,具有广泛的技术开发能力。 SEMulator3D 基于高效的物理驱动体素建模技术,具有为完整工艺流程建模的独特能力。 从输入的设计数据开始,SEMulator3D 按照集成的工艺流程描述,创建在晶圆厂中创建的复杂三维结构的虚拟等效物。
SEMulator3D 工艺建模和分析用于快速、准确地“虚拟制造”先进的纳米制造工艺,使工程师能够在开发过程的早期了解制造效果,并减少耗时和昂贵的硅学习周期。

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半导体技术在三维工艺方面的不断进步,包括全栅极场效应晶体管、三维存储器、后段工艺(BEOL)和背面图形化,大大增加了工艺开发的复杂性。 因此,传统的构建和测试技术开发方法变得过于昂贵和耗时。
由于最先进的晶圆厂需要数十亿美元的投资,而且技术日益复杂,硅工程试错的时间和成本已变得不可接受。 错过市场窗口的代价极大。 使用 Coventor 半导体工艺建模软件进行预测性三维工艺建模是一种替代方法,可显著缩短硅学习周期,降低开发成本,并减少错过市场窗口期的风险。 与实际晶圆运行需要数周至数月的时间不同,虚拟制造只需几分钟至几小时即可产生结果。
使用 Coventor 的 SEMulator3D 虚拟制造平台进行预测性三维工艺建模,缩短了开发周期,降低了与传统硅实验学习相关的成本。 SEMulator3D 利用虚拟制造的晶圆进行开发,使公司能够更快地将新技术投入批量生产。
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产量:爬坡和 大批量生产