面板加工 - Lam Research

面板加工产品

实现面板加工的未来

面板加工技术有望使半导体行业继续扩大规模。 采用小芯片和异构集成技术来打造下一代半导体产品,是半导体行业未来的发展趋势。 泛林集团为面板市场带来了晶圆级加工的能力和质量。 这包括基板市场的持续扩大、PLP 市场的扩张以及 microLED 显示技术的前景。 泛林集团可以提供这些市场所需的技术和设备。

包括电镀、湿法剥离、清洁和刻蚀工艺。 我们的设备和技术涵盖了面板加工市场的各个环节,包括: RDL、Pads、FLI、Cu Pillar、Cu Buildup 和 TGV 层。 泛林集团的面板工艺设备可提供各种具有挑战性的器件应用所需的精度、性能和灵活性。


面板加工

我们的产品

Kallisto 产品系列

电化学沉积 (ECD)

先进的立式加工平台,用于对 300×300 毫米 至 5.1 代(1100×1300 毫米)的基板进行湿法化学制备,以满足半工业的需求。

Phoenix 产品系列

光刻胶去除 光刻胶显影 湿法清洗/去胶/刻蚀 电化学沉积 (ECD)

Phoenix 可为 510×515 毫米的基板提供全自动大批量面板加工。

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