质量计量产品

精确测量,洞察工艺

质量计量技术用于测量质量在沉积、刻蚀和清洗工艺实施之后的变化,从而对这些经常被重复的核心制造步骤实施监测和控制。对于薄膜堆栈、高深宽比结构、复杂的3D架构等设计组件,光学技术能力有限,难以准确测量较厚、较深或非透明的构件。测量这些应用中的质量变化是一种简单直接的高精度解决方案,可以用于监测和控制偏差容忍度极低的先进器件结构中的关键构件。

泛林集团的高精度质量计量系统系列可以实时在线监测和控制沉积、刻蚀和清洗步骤——记录质量的微小变化,对潜在的工艺流程偏差进行先进检测。



质量计量

我们的产品

METRYX产品系列

Mass Metrology

Lam的质量计量系统为先进的工艺监测和三维设备结构控制提供了微克级别的测量能力。


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