Solution：传感器和换能器

Coventor Product Family

Plasma Modeling Semiconductor Process Modeling

Our semiconductor process modeling software (SEMulator3D) and plasma modeling software (OverViz) perform predictive modeling of etch, deposition, plasma & other processes, to identify problems prior to fabrication.

高级内存, 互联, 光电子学与光子学, 图形化, 传感器和换能器, 晶体管

DSiE Product Family

深反应离子刻蚀（DRIE）

这些产品为若干关键和非关键深硅刻蚀应用提供了高生产率的特殊工艺控制。

先进封装, 传感器和换能器, 光电子学与光子学, 分立与功率器件, 模拟与混合信号

DV-PRIME和DA VINCI产品

湿法清洗

这些产品提供了所需的工艺灵活性和高生产率，以解决整个制造过程中的多个晶片清洗步骤。

先进封装, 互联, 传感器和换能器, 光电子学与光子学, 分立与功率器件, 图形化, 晶体管, 模拟与混合信号

KIYO产品系列

反应离子刻蚀（RIE）

Lam市场领先的导体刻蚀产品能够为关键器件在保障高生产率的前提下提供所需的高精度和控制。

互联, 传感器和换能器, 分立与功率器件, 图形化, 晶体管, 模拟与混合信号, 高级内存

METRYX产品系列

Mass Metrology

Lam的质量计量系统为先进的工艺监测和三维设备结构控制提供了微克级别的测量能力。

先进封装, 互联, 传感器和换能器, 分立与功率器件, 图形化, 晶体管, 模拟与混合信号, 高级内存

OverViz

Plasma Modeling

OverViz™ is an industrial simulation software platform for high-fidelity modeling of plasma discharges.

互联, 传感器和换能器, 先进封装, 光电子学与光子学, 分立与功率器件, 晶体管, 模拟与混合信号, 高级内存

Pulsus Product Family

脉冲激光沉积（PLD）

Our Pulsus product family provides thin film deposition solutions for a wide range of complex multi-element materials for Specialty Technologies applications.

射频 MEMS, 传感器和换能器