Solution: Sensors & Transducers

DSIE シリーズ製品

DRIE

このシリーズ製品は、クリティカル・非クリティカルを問わず、ディープシリコンエッチング用途に対し、優れた生産性の高いプロセス制御を提供します。

DV-PRIME & DA VINCI シリーズ

Spin Wet Clean

これらの製品は製造工程全体にわたる複数のウェハクリーニングステップにおいて求められる高い生産性と柔軟性を実現するプロセスを提供します。

KIYO シリーズ製品

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch

業界をリードするラムリサーチのコンダクターエッチング製品は、クリティカルなデバイス機能に求められる高い生産性を実現するための高性能な精度と制御を提供します。

METRYX シリーズ製品

Mass Metrology

ラムリサーチの質量計測システムは、高度なプロセス監視と3次元デバイス構造の制御により、サブミリグラムレベルの計測能力を提供します。

RELIANTエッチング製品

DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、コンダクター膜、酸化膜、および金属エッチング アプリケーションにおいて低所有コストで、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

RELIANTクリーン製品

Reliant Systems Spin Wet Clean

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、フロントサイドならびにバックサイド/ベベルのクリーニングにおいて低所有コスト、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

RELIANT成膜製品

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

ラムリサーチの新品および再生されたReliant製品は、酸化膜アプリケーションにおいて低所有コスト、高信頼性、実証済みのソリューションを提供します。

SP シリーズ製品

Spin Wet Clean

この実証済みの製品ファミリーは、ウェハから不要な材料を無理なく除去する、高信頼性、高コスト効率のウェットクリーニング/ウェットエッチングソリューションを提供します。

SPEED シリーズ製品

High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD)

これらの酸化膜成膜製品は、業界最高のスループットと信頼性を備えた高アスペクト比スペースの完全なギャップフィル機能を提供します。

SYNDIONシリーズ製品

DRIE Reactive Ion Etch

このシリーズ製品は、ディープエッチングアプリケーション向けにクリティカルな高アスペクト比の実現に必要な優れたウェハ面内均一性を確保します。

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