Pulsus シリーズ製品 - Lam Research

Pulsus シリーズ製品

Pulsus シリーズ製品

Products

パルスレーザー堆積(PLD)

RF MEMS, センサーとトランスデューサー

パルスレーザー・デポジション(PLD)は、広範囲の複雑な複合マテリアルを成膜できる、非常に汎用性の高い薄膜形成技術です。  強化された新しいマテリアルシステムに対する今日の市場の需要に伴い、PLDは反応性スパッタリングや ALD といった従来の技術では成膜できない層を可能にします。

ラムリサーチのPulsusPLD製品は、スペシャルティ・テクノロジーアプリケーション向けに30%を超えるScAlN膜の量産を可能にします。  この成膜ソリューションは、より高度なデバイス設計を可能にし、5G および Wi-Fi 6、ハイエンド MEMS マイク、その他の MEMS アプリケーション用の次世代 RF フィルターを推進します。  市場の需要に応えるため、酸化および窒化膜に基づいた新技術が継続的に開発されています。


Industry Challenges

スペシャルティ・テクノロジーにおける多様なアプリケーションには、新しいマテリアルのプロセスが必要です。 そのような材料の1つにスカンジウムをドープした窒化アルミニウム (ScAlN) があります。これは、電気機械結合が非常に高いため、高周波 MEMS アプリケーションにおいて大きな関心を集めています。 5G 市場の成長に伴い、より高い周波数帯域のフィルターが必要となり、既存の量産技術に課題が生じています。 MEMS および 5G 業界では、低い内部損失(誘電正接)と、高いピエゾ性能(e31,f)が必要です。 これらの課題に対処するには、より高度なデバイス設計を可能にする、非常に汎用性の高い薄膜形成技術が必要です。

Key Customer Benefits

  • 複雑なマテリアル、特に AlScN などのセラミックを成膜する多用途性
  • 低い誘電損失と高い圧電性能を含む、優れた膜質
  • 膜厚やストレスの WiW 均一性調整といった高度な膜制御
  • プラットフォームの設計と独自の PLD ターゲット技術によってサポートされる、高スループットと低所有コスト

Product Offerings

  • Pulsus

Key Applications

  • RF MEMS、MEMSマイク、圧電 MEMS 超音波トランスデューサ(PMUT)、マイクロスピーカー用のScAlN層
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