Pulsus 제품군
Products
펄스 레이저 증착(PLD)
펄스 레이저 증착(pulsed laser deposition, PLD)은 매우 다양한 복합 재료를 증착할 수 있는 다목적 박막 증착 기술입니다. 오늘날 새롭고 향상된 재료 시스템에 대한 시장의 요구에 따라 PLD는 반응성 스퍼터링 또는 ALD 같은 기존 기술로는 불가능했던 양질의 박막을 형성합니다.
램리서치 Pulsus™ PLD 제품으로 특수 기술 응용 분야에서 30% 이상 수준인 ScAlN 막을 대량으로 생산할 수 있습니다. 이 증착 솔루션은 한층 발전된 소자 설계를 가능하게 하며, 5G 및 WiFi 6, 고급 MEMS 마이크 및 기타 MEMS 응용 분야를 위한 차세대 RF 필터를 이끌고 있습니다. 시장의 수요를 충족하기 위해 산화물 및 질화물 필름을 기반으로 하는 새로운 기술은 지속적으로 개발되고 있습니다.
Industry Challenges
특수 기술의 다양한 응용 분야에는 새로운 재료를 위한 공정이 필요합니다. 이러한 재료 중 하나는 스칸듐이 도핑된 알루미늄 질화물(ScAlN)로, 매우 높은 전기-기계적 결합으로 인해 고주파수 미세전자기계시스템(MEMS) 응용 분야에서 큰 관심을 끌고 있습니다. 5G 시장이 성장함에 따라 고주파 대역 필터의 필요성이 높아졌고 이로 인해 기존 대량 생산 기술은 도전 과제에 직면하고 있습니다. MEMS 및 5G 산업은 높은 압전 성능(e31,f)과 낮은 내부 손실(tan δ)을 필요로 합니다. 이러한 까다로운 요구 사항을 해결하려면 첨단 소자 설계를 가능하게 하는 다목적 박막 증착 기술이 요구됩니다.
Key Customer Benefits
- AlScN 같은 세라믹처럼 복잡한 재료를 증착할 수 있는 다기능성
- 높은 압전 성능과 낮은 유전 손실을 포함한 우수한 막 품질
- 막 두께 및 응력의 WiW 균일성 개선과 같은 고급 막 제어
- 플랫폼 설계 및 고유한 PLD 타겟 기술로 지원되는 높은 처리량과 낮은 소유 비용
Product Offerings
- Pulsus™
Key Applications
- RF MEMS, MEMS 마이크, PMUT(piezoelectric micromachined ultrasonic transducers), 마이크로 스피커용 ScAlN 층