Pulsus 제품군 - Lam Research
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Pulsus 제품군

Pulsus 제품군

Products

펄스 레이저 증착(PLD)

RF MEMS, 센서 및 트랜스듀서

펄스 레이저 증착(pulsed laser deposition, PLD)은 매우 다양한 복합 재료를 증착할 수 있는 다목적 박막 증착 기술입니다.  오늘날 새롭고 향상된 재료 시스템에 대한 시장의 요구에 따라 PLD는 반응성 스퍼터링 또는 ALD 같은 기존 기술로는 불가능했던 양질의 박막을 형성합니다.

램리서치 Pulsus PLD 제품으로 특수 기술 응용 분야에서 30% 이상 수준인 ScAlN 막을 대량으로 생산할 수 있습니다.  이 증착 솔루션은 한층 발전된 소자 설계를 가능하게 하며, 5G 및 WiFi 6, 고급 MEMS 마이크 및 기타 MEMS 응용 분야를 위한 차세대 RF 필터를 이끌고 있습니다.  시장의 수요를 충족하기 위해 산화물 및 질화물 필름을 기반으로 하는 새로운 기술은 지속적으로 개발되고 있습니다.


Industry Challenges

특수 기술의 다양한 응용 분야에는 새로운 재료를 위한 공정이 필요합니다. 이러한 재료 중 하나는 스칸듐이 도핑된 알루미늄 질화물(ScAlN)로, 매우 높은 전기-기계적 결합으로 인해 고주파수 미세전자기계시스템(MEMS) 응용 분야에서 큰 관심을 끌고 있습니다. 5G 시장이 성장함에 따라 고주파 대역 필터의 필요성이 높아졌고 이로 인해 기존 대량 생산 기술은 도전 과제에 직면하고 있습니다. MEMS 및 5G 산업은 높은 압전 성능(e31,f)과 낮은 내부 손실(tan δ)을 필요로 합니다. 이러한 까다로운 요구 사항을 해결하려면 첨단 소자 설계를 가능하게 하는 다목적 박막 증착 기술이 요구됩니다.

Key Customer Benefits

  • AlScN 같은 세라믹처럼 복잡한 재료를 증착할 수 있는 다기능성
  • 높은 압전 성능과 낮은 유전 손실을 포함한 우수한 막 품질
  • 막 두께 및 응력의 WiW 균일성 개선과 같은 고급 막 제어
  • 플랫폼 설계 및 고유한 PLD 타겟 기술로 지원되는 높은 처리량과 낮은 소유 비용

Product Offerings

  • Pulsus

Key Applications

  • RF MEMS, MEMS 마이크, PMUT(piezoelectric micromachined ultrasonic transducers), 마이크로 스피커용 ScAlN 층
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