Solution: Sensors & Transducers

DSIE 제품군

DRIE

이 제품은 여러 딥 실리콘 식각(etch) 주요 및 비주요 공정에서 높은 생산성으로 공정을 완벽하게 제어합니다.

DV-Prime & Da Vinci Product Families

Spin Wet Clean

이 제품은 제조 과정에서 여러 웨이퍼 세정 단계를 해결하는 데 필요한 높은 생산성과 함께 프로세스 유연성을 제공합니다.

KIYO 제품군

Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch

시장을 선도하는 램리서치의 전도체 식각 제품은 주요 소자 제품 피처에 요구되는 고성능 정밀도와 뛰어난 제어력을 제공합니다.

METRYX 제품군

Mass Metrology

램리서치의 질량 계측 시스템에는 3차원 소자 구조의 첨단 공정 모니터링과 제어에 필요한 미세하며 정교한 밀리그램 미만 단위 측정 기능이 있습니다.

RELIANT CLEAN 제품

Reliant Systems Spin Wet Clean

새로 업그레이드된 램리서치의 Reliant™ 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 광범위한 전면 및 후면/베벨 세정 분야에서 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

RELIANT DEPOSITION 제품

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

새로 업그레이드된 램리서치의 Reliant™ 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 유전막 분야에서 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

RELIANT ETCH 제품

DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

새로 업그레이드된 램리서치의 Reliant™ 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 전도체, 유전체, 금속 식각 분야에서 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

SP 시리즈 제품군

Spin Wet Clean

성능이 검증된 이 제품군은 뛰어난 신뢰성과 비용 효과로 웨이퍼에서 불필요한 물질을 부드럽게 제거하는 습식 세정/습식 식각 솔루션입니다.

SPEED 제품군

High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD)

이 유전체 증착 제품은 업계 최고의 처리량과 신뢰성으로 고종횡비(HAR) 구조에 완벽한 갭필(gapfill)을 구현합니다.

SYNDION 제품군

DRIE Reactive Ion Etch

딥 식각 분야에서 이 제품군은 필수 고종횡비(HAR) 피처에 요구되는 웨이퍼 전체의 균일도를 완벽하게 제어합니다.

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