로직 Archives - Lam Research
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[Solution:] 로직

Akara®

Conductor Etch

Akara®는 밀리초 단위로 단축한 공정 반응 시간을 통해 웨이퍼 출력을 증가시키고, 낭비되는 시간을 줄여 최대의 공정 수율을 제공합니다. 업계에서 가장 앞선 식각 균일성 제어 기술로 옹스트롬 수준의 높은 균일성과 웨이퍼 간 반복성을 제공합니다.

Dextro™

세정 유지 관리 자동화

Dextro는 로봇 암이 장착된 이동형 장치로, 여러 종류의 엔드 이펙터를 손처럼 사용해 수동으로 작업할 경우 시간이 많이 소요되고 오류가 발생하기 쉬운 주요 장비 유지보수 작업을 관리하는 데 도움을 줍니다. 공장 기술자 또는 엔지니어가 조작하는 Dextro는 사람의 능력으로는 불가능한 수준의 정밀성과 반복성을 갖추고 있어 장비 가동 시간을 늘리고 제조 수율을 높입니다.

Fabtex™ Yield Optimizer

Semiconductor Yield Optimization Platform

Fabtex™ Yield Optimizer is a cutting-edge software platform designed to help semiconductor foundries accelerate yield ramp and improve high-volume manufacturing performance.

SEMulator3D

반도체 프로세스 모델링

SEMulator3D®는 광범위한 기술 개발 역량을 갖춘 반도체 공정 모델링 플랫폼입니다.

Striker 제품군

원자층 증착(ALD)

첨단 ALD 기술을 사용하여 나노 수준의 피처가 있는 고급 소자의 주요 공정을 완벽하게 제어하는 유전막을 제공합니다.

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