센서 및 변환기

변환기는 빛, 동작, 열 또는 화학 반응 같이 에너지 형태를 바꿔주는 소자입니다. 예를 들어, 액추에이터는 에너지를 동작으로 바꾸는 변환기의 일종입니다. 변환기 출력에 의해 에너지가 판독 가능한 형식((아날로그 또는 디지털 형태)으로 바뀔 때 이것을 센서라고 합니다. 우리 주변에서 발생하는 신호를 변환하고 측정하는 데는 여러 종류의 변환기와 센서가 사용되며, 그 용도 또한 계속 늘어나고 있습니다. 이러한 소자를 생산할 때 반드시 최신 세대 처리 장비가 필요한 것은 아니지만 고유한 소자 디자인을 충족할 수 있는 공정을 개발해야 합니다. 또한 일부 제작 단계에서는 압전 박막 같이 다른 소자 유형에서 사용되지 않는 재료가 사용됩니다. 따라서 장비의 기술 능력, 신뢰성, 생산성, 및 전체 비용 효과가 매우 중요합니다.



센서 및 변환기

램리서치 솔루션

DSIE 제품군

DRIE

여러 딥 실리콘 식각 주요 및 비주요 공정에서 높은 생산성으로 공정을 완벽하게 제어합니다.

DV-Prime & Da Vinci 제품군

Spin Wet Clean

제조 전반에 걸쳐 웨이퍼 세정의 여러 단계를 높은 생산성으로 처리하는 데 필요한 공정 유연성을 갖추고 있습니다.

KIYO 제품군

Reactive Ion Etch

시장을 선도하는 램리서치의 전도체 식각 제품은 주요 소자 피처(feature)에 요구되는 고성능 정밀도와 제어력이 특징입니다.

METRYX 제품군

Mass Metrology

램리서치의 질량 계측 시스템에는 3차원 소자 구조의 첨단 공정 모니터링과 제어에 필요한 밀리그램 미만 단위의 측정 기능이 있습니다.

RELIANT CLEAN 제품

Reliant Systems Spin Wet Clean

램리서치의 새로 업그레이드된 Reliant 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 전면 및 후면/베벨 세정의 광범위한 분야에 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

RELIANT DEPOSITION 제품

Chemical Vapor Deposition (CVD) High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD) Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reliant Systems

램리서치의 새로 업그레이드된 Reliant 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 유전막 분야에 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

RELIANT ETCH 제품

DRIE Reactive Ion Etch Reliant Systems

램리서치의 새로 업그레이드된 Reliant 제품은 생산을 통해 검증된 뛰어난 신뢰성을 바탕으로 전도체, 유전체, 금속 식각 분야에 사용할 수 있는 솔루션이며, 관리비도 적게 듭니다.

SENSE.I 제품군

Atomic Layer Etch (ALE) Deep Reactive Ion Etch (DRIE) DRIE

램리서치의 최신 식각 플랫폼은 컴팩트한 고밀도 구조에 누구도 따라올 수 없는 시스템 지능을 갖추고 있어 공정 성능을 최고의 생산성으로 구현합니다.

SP 시리즈 제품군

Spin Wet Clean

성능이 검증된 이 제품군은 뛰어난 신뢰성과 비용 효과로 웨이퍼에서 불필요한 물질을 부드럽게 제거하는 습식 세정/습식 식각 솔루션입니다.

SPEED 제품군

High-Density Plasma Chemical Vapor Deposition (HDP-CVD)

이 유전체 증착 제품은 업계 최고의 처리량과 신뢰성으로 고종횡비(high aspect ratio) 공간에 완벽한 갭필(gapfill)을 구현합니다.

Syndion 제품군

DRIE Reactive Ion Etch

딥 식각 응용 부문에서 이 제품군은 고종횡비 피처를 형성하는 데 필요한 우수한 웨이퍼 균일도 제어 능력을 제공합니다.

VECTOR 제품군

Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

램리서치의 PECVD 제품군은 광범위한 소자 분야에서 높은 생산성으로 고정밀 유전막 증착을 실현합니다.

circle-arrow2circle-arrow2facebookgooglehandshake2health2linkedinmenupdfplant2searchtwitteryoutube