Prestis™

산업의 과제

특수 기술의 다양한 응용 분야에는 신소재를 위한 공정이 필요합니다. 이러한 소재 중 하나로 스칸듐 함량이 높은 질화 알루미늄(AlScN)이 있습니다. 5G 시장이 성장함에 따라 고주파 대역 필터의 필요성이 높아졌고 이로 인해 기존 대량 생산 기술은 도전 과제에 직면하고 있습니다. 이러한 까다로운 요구 사항을 해결하려면 첨단 소자 설계를 가능하게 하는 다목적 박막 증착 기술이 요구됩니다. 램리서치의 Prestis™ 제품은 40% 이상의 AlScN 박막의 대량 생산을 가능하게 합니다.

• RF 필터는 네트워크가 처리할 수 있는 사용자의 수를 늘리는 동시에 각 사용자의 경험을 개선하는 등 5G, WiFi 6 성능에 있어 매우 중요한 역할을 담당합니다. 박막의 높은 스칸듐 함량은 기계적 결합 계수를 향상시켜 RF 필터 성능을 향상시킵니다.
• MEMS 마이크는 5G 지원 장치의 음성 제어 기능 및 잡음 제거에 필수적인 높은 신호 대 잡음비를 통해 희미한 잡음이 섞인 소리도 정확하게 포착한다는 점에서 좋은 평가를 받고 있습니다. 박막의 높은 스칸듐 함량은 피에조 성능(e31,f)과 유전체 손실(tan d)을 결합하여 신호 대 잡음비를 개선합니다.

주요 고객 이점

• AlScN 같은 세라믹처럼 복잡한 재료를 증착할 수 있는 다기능성
• 높은 압전 성능과 낮은 유전 손실을 포함한 우수한 막 품질
• 막 두께 및 응력의 WiW 균일성 개선과 같은 고급 막 제어
• 2300® 전송 모듈의 기존 설치 기반을 활용하여 식각 등 다른 램리서치 제품과의 시너지 효과 창출