OverViz

業界の課題

プラズマシミュレータのユーザーは特定の問題に対する正しいモデルの選択、問題を解く正しい数値計算法の選択、そしてシミュレーション結果の正しい解釈といった課題と常に直面しています。 半導体産業で直面するこうした課題に対するVizGlow の注力は、20 年間にわたるシミュレーション検証および実証キャンペーンを通じて、この製品に結実しています。 その開発当初から、VizGlow はあらゆる異なった物理学を単一のフレームワークの中で取り扱えるように設計されてい

お客様の主なメリット

• VizGlow には、半導体製造装置と集積回路 (IC) 製造産業を支えてきた実績があります。 半導体メーカーは VizGlow を使用して、既存装置の分析、プロセスの改善、新しい装置コンセプトの開発を行っています。 IC メーカーは、ラムリサーチのソフトウェアを使用して、製造プロセスの最適化、プロセス異常の特定・改善、および新しい装置の設計を行っています。
• VizGlowは、ChemZone を介した広範な化学データベース探索と完全結合することによってさらに強化することができ、半導体製造における広大なプロセス・パラメーター空間を迅速に探索することや、新しい有限速度化学燃焼反応機構、プロセスプラズマ、燃焼、気体の反応速度論の開発と検証に使用されています。