Optoelectronics & Photonics | Our Solutions

Ein photonisch integrierter Schaltkreis (PIC), auch als integrierte optische Schaltung bezeichnet, ist einem elektronischen integrierten Schaltkreis ähnlich. Anstatt jedoch nur elektrische Signale für die Informationsübertragung zu verwenden, nutzen die optoelektrischen Bauelemente sowohl elektrische als auch optische (Licht) Signale. Die Verwendung von Optik ermöglicht höhere Bandbreiten und schnellere Verbindungen bei gleichzeitig geringeren Energiekosten. Optische Komponenten sind im Telekommunikationsbereich und für die Internetanbindung von Haushalten gebräuchlich. Das Wachstum für Anwendungen in Daten- und Rechenzentren hat die Nachfrage nach PICs enorm gesteigert, nicht zuletzt, da diese eine effizientere Systemarchitektur, deutlich geringere Energieverbräuche und verbesserte Leistungsfähigkeit ermöglichen. Es ist davon auszugehen, dass die Verwendung von optoelektrischen Systemen weiter zunehmen wird – und dementsprechend vermehrt kosteneffiziente und zuverlässige Fertigungslösungen benötigt werden.

Unsere Lösungen

OPTOELEkTRONIk & PHOTONIk

DSiE PRODUKTFAMILIE

Tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)

Diese Produkte bieten eine hervorragende Prozesskontrolle bei hoher Produktivität für verschiedene kritische und nicht kritische Anwendungen des tiefen Ätzens von Silizium.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler

DV-PRIME UND DA VINCI Produktfamilie

Nassreinigung

Diese Produkte bieten die Prozessflexibilität, die bei hoher Produktivität erforderlich ist, um mehrere Waferreinigungsschritte in der gesamten Fertigung abzudecken.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

Fabtex™ Yield Optimizer

Plattform zur Optimierung der Halbleiterausbeute

Fabtex™ Yield Optimizer is a cutting-edge software platform designed to help semiconductor foundries accelerate yield ramp and improve high-volume manufacturing performance.

CFET, DRAM, Fortschrittliche Speicher, High Bandwidth Memory, Interconnect, Logik, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

FLEX PRODUKTFAMILIE

AtomlagenätzenKryogenes ÄtzenReaktives Ionenätzen (RIE)

Die dielektrischen Ätzsysteme von Lam bieten anwendungsorientierte Funktionen zum Erstellen einer Vielzahl anspruchsvoller Strukturen in modernen Geräten.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, Strukturierung, Transistor

Kallisto-Produktfamilie

Elektrochemische Abscheidung (ECD)

Eine fortschrittliche vertikale Prozessplattform für die nasschemische Behandlung von Substraten von 300 x 300 mm bis hin zu Gen 5.1 (1100 x 1300 mm), die auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie zugeschnitten ist.

Automobilindustrie, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Fortschrittliche Substrate, Mini/Micro-LED, Optoelektronik und Photonik, Panel-Level FanOut

OverViz

Plasmamodellierung

OverViz™ ist eine industrielle Simulationssoftwareplattform für die realitätsgetreue Modellierung von Plasmaentladungen.

Phoenix-Produktfamilie

Elektrochemische Abscheidung (ECD)Fotolack-entfernungFotolack-entwicklungNassreinigung/Resistentfernung

Phoenix bietet eine vollautomatische, hochvolumige Plattenverarbeitung für 510×515 mm große Substrate an.

Analog und MixedSignalTechnologien, Automobilindustrie, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Fortschrittliche Speicher, Fortschrittliche Substrate, Mini/Micro-LED, Optoelektronik und Photonik, Panel-Level FanOut

Reliant-Reinigungsprodukte

Nassreinigung/ResistentfernungReliant Systems

Unsere Reliant-Reinigungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Reliant-Abscheidungsprodukte

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)Gepulste Laserabscheidung (PLD)Hochdichte-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung (HDP-CVD)MEM/SIoT DesignautomatisierungPlasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)Reliant Systems

Unsere Reliant-Abscheidungsprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

Reliant-Ätzprodukte

Reaktives Ionenätzen (RIE)Reliant SystemsTiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)

Unsere Reliant-Ätzprodukte unterstützen Roadmaps für Spezialtechnologien und verlängern die produktive Lebensdauer von Fabs.

SEMulator3D

Halbleiter-Prozessmodellierung

SEMulator3D^® ist eine Plattform zur Modellierung von Halbleiterprozessen, die weitreichende Möglichkeiten zur Technologieentwicklung bietet.

DRAM, Flash-Speicher, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Logik, NAND, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Strukturierung, Transistor

SP-SERIE Produktfamilie

Nassreinigung

Diese bewährte Produktfamilie bietet zuverlässige, kostengünstige Nassreinigungs- / Nassätzlösungen, mit denen unerwünschte Materialien vorsichtig vom Wafer entfernt werden.

Analog und MixedSignalTechnologien, Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Gehäusetechnologien, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler

SPEED Produktfamilie

Hochdichte-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidung (HDP-CVD)

Diese dielektrischen Abscheidungsprodukte bieten eine vollständige Lücke in Räumen mit hohem Aspektverhältnis und branchenführendem Durchsatz und Zuverlässigkeit.

Diskrete Bauelemente und Leistungshalbleiter, Fortschrittliche Speicher, Interconnect, Optoelektronik und Photonik, Sensoren und Wandler, Transistor

Triton-Produktfamilie

Elektrochemische Abscheidung (ECD)Nassreinigung/Resistentfernung

Die Triton-Plattform ist eine vielseitige und modulare Lösung für die Beschichtung einzelner Wafer sowie die Nassbearbeitung.

Vector Produktfamilie

Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)

Unsere PECVD-Produktfamilie ermöglicht eine präzise dielektrische Filmabscheidung bei hoher Produktivität für eine Vielzahl von Anwendungen.

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